[发明专利]外延薄膜无效
| 申请号： | 00804586.0 | 申请日： | 2000-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1526172A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | A·T·亨特;G·德什潘德;D·T·－J·J·卡振斯;W·－Y·林;S·S·肖普 | 申请（专利权）人： | 微涂技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01M8/02;H01G4/06;B01D71/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国佐*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外延 薄膜 | ||
【权利要求书】：
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