[发明专利]部件

权利要求书

1、部件

-具有压电层(16)，

-具有第一电极对，它具有下面第一电极(151)和上面第—电极(171)，并且具有第二电极对，它具有下面第二电极(152)和上面第二电极(172)，

-其中，上面第一电极(171)和上面第二电极(172)都设置在压电层(16)的第一主面上，并且下面第一电极(151)和下面第二电极(152)设置在压电层(16)的位于第一主面对面的第二主面上，

-其中，上面第一电极(171)、上面第二电极(172)、下面第一电极(151)以及下面第二电极(152)均是结构化的，其中上面第一电极(171)和上面第二电极(172)的结构以及下面第一电极(151)和下面第二电极(152)的结构分别相互啮合在一起。

2、按照权利要求1所述的部件，

其中，这些结构在一维上具有一方面比上面第一电极(171)和上面第二电极(172)间隔的2倍还小的尺寸，和另一方面具有比下面第一电极(151)和下面第二电极(152)间隔的2倍还小的尺寸。

3、按照权利要求1或2所述的部件，

其中，在一维上，这些结构的尺寸至少一方面比上面第一电极(171)和上面第二电极(172)间隔的2倍的1/10还小，以及另一方面比下面第一电极(151)和下面第二电极(152)间隔的2倍的1/10还小。

4、按照权利要求1至3之一所述的部件，

-其中，下面第一电极(23)、下面第二电极(24)、上面第一电极(21)和上面第二电极(22)均有一连接片(212、222、232、242)，分结构(211、221、231、241)与连接片(212、222、232、242)邻界，并与这些连接片连接，

-其中，上面第一电极(21)和上面第二电极(22)如此设置，以致上面第一电极(21)的分结构和上面第二电极(22)的分结构交替排列。

-其中，下面第一电极(23)和下面第二电极(24)如此设置，以致上面第一电极(23)的分结构(231)和上面第二电极(24)的分结构(241)交替排列。

5、按照权利要求4所述的部件，

其中，分结构(211、221)构成指形。

6、按照权利要求4所述的部件，

其中，分结构(412、422)至少部分地进行分枝。

7、按照权利要求4至6之一所述的部件，

其中，分结构(311、321)之间的尺寸和/或间隔均围绕一平均值变化。

8、按照权利要求4至7之一所述的部件，

-其中，上面第一电极(151)的连接片(1512)如此对准，以致其投射到第二主面上的投影与下面第一电极(171)的连接片(1712)交叉，

-其中，上面第二电极(152)的连接片(1522)如此对准，以致其投射到第二主面上的投影与下面第二电极(172)的连接片(172)交叉。

9、按照权利要求1至8之一所述的部件，

-其中，压电层(16)至少具有材料AIN、ZnO、PbZrTiO_x(PZT)的一种，

-其中，压电层(16)的厚度在1μm和3μm之间，

-其中，下面第一电极(151)、下面第二电极(152)、上面第一电极(171)和上面第二电极(172)，均有在1μm和3μm之间的最小的尺寸。