[发明专利]光电倍增管

说明书

技术领域

本发明涉及一将面板上的微弱的入射光转变成电子并利用多级叠放的打拿极(dynode)产生的电子倍增效应对其进行检测的光电倍增管。

背景技术

Japanese Patent-Application Publications Nos.HEI-6-314551和HEI-6-310084描述了一些传统的光电倍增管。这些光电倍增管包括一由多层叠放的打拿极形成的电子倍增部分和一些做在上述打拿极上的U形连接端子，这些连接端子把该打拿极与管座管脚(stempin)连接起来。设在各个打拿极上的连接端子是这样定位的，使得通过每个连接端子的平行于打拿极的叠放方向的直线都不重叠，以便防止在连接端子之间发生放电。通过将相邻的打拿极板焊在一起的方法将上述打拿极连接起来。该焊缝的位置也作了布置，以便不相重叠。

发明概述

按上述方式将连接端子和焊缝定位是提高该光电倍增管性能的有效方法。但是，为了进一步改善该光电倍增管的基本特性，在用腐蚀技术形成每块打拿极时，还必须考虑到所产生的毛刺(burr)。在Japanese Patent-Application Publications Nos.HEI-6-314552和HEI-5-182631中已公开了该形成打拿极的腐蚀方法。但是这种腐蚀技术并未考虑到在该过程中所产生的毛刺。

鉴于前述，本发明的目的在于提供一种能抑制由毛刺所产生的噪音的光电倍增管。

本发明的光电倍增管包括：一面板；一光阴极，装在一密闭容器内，在光入射到面板上时用来发射电子；一电子倍增部分，用来倍增从光阴极发射的电子；以及一阳极，传送基于被该电子倍增部分倍增的电子的一些输出信号。该电子倍增部分包括多个按层叠放的平板形打拿极。用腐蚀技术每个打拿极被形成有一些电子倍增孔，而且有一个提供有连接桥的剩余部分(bridge remainder)的边缘部分。上述连接桥的剩余部分被这样定位，使得平行于打拿极叠放方向延伸并通过相邻打拿极上的连接桥的剩余部分的直线不互相重叠。

在这种类型的光电倍增管中，利用腐蚀技术在上述以多层堆叠的平板形打拿极内形成一些电子倍增孔。为了实施这种腐蚀过程，制备了一将平板形打拿极包围在内并通过一连接桥部分与该打拿极相连的基片。在该打拿极基片上形成掩模并实施腐蚀过程，以便在该打拿极上形成多个电子倍增孔。紧接着，将该连接桥部分切断，以形成一能装进该光电倍增管中的打拿极。不可避免地，部分连接桥将会残留在该打拿极的边缘上。已证实，当该打拿极带着这连接桥的剩余部分叠放时，如将该连接桥的剩余部分在该叠放方向排列时，则就会在连接桥的剩余部分之间发生放电。当打拿极之间的间隔越小时，这种现象就越显著，而且本发明者通过实验证实，这种现象在该光电倍增管中会产生噪音。因而，应将相邻打拿极上的连接桥的剩余部分安置在这样的位置上，使得平行于打拿极的叠放方向并通过每个连接桥的剩余部分的直线都不重叠，因而，使得该光电倍增管的基本特性得到进一步改善。在生产薄型的电子倍增部分时这种技术特别有效。本发明就是以打拿极上毛刺(连接桥的剩余部分)的存在为基础的，而且认识到，在企图制造一种精确的光电倍增管时，这些毛刺就是一不可忽略的重要因素。

在本发明的光电倍增管中，该连接桥的剩余部分是沿打拿极的边缘部分形成在边沿上。对于这种结构来说，为了适应各种情形，可形成很多种连接桥的剩余部分的排列。例如，所有的连接桥的剩余部分可这样定位，使得平行于打拿极叠放方向并通过每个连接桥的剩余部分的直线都不重叠。

在本发明的光电倍增管中，该连接桥的剩余部分是形成于沿着打拿极的边缘部分的拐角处。对于这种结构来说，这些连接桥的剩余部分可以安置在叠放方向上每隔一层打拿极的拐角处。

在本发明的光电倍增管中，该连接桥的剩余部分可被这样定位，使得平行于打拿极的叠放方向并通过每隔一层打拿极的连接桥的剩余部分的直线彼此重叠。对于这种结构来说，上述连接桥的剩余部分就可被分开至少一块打拿极的厚度。

在本发明的光电倍增管中，所有的连接桥剩余部分都被这样定位，使得平行于打拿极的叠放方向并通过上述连接桥的剩余部分的直线彼此都不重叠。对于这样的结构来说，连接桥的剩余部分之间的间隔就可被增大

在本发明的光电倍增管中，连接桥的剩余部分按一阶梯形排列偏移。对于这样的结构来说，连接桥的剩余部分之间的间隔可增大不止一打拿极的厚度。

附图简介

图1是一表示按照本发明一实施例的光电倍增管的透视图；

图2是一沿图1中的II-II线截取的横截面视图；