[发明专利]微型机电式继电器与其生产方法

权利要求书

1.一种继电器，包括：

一个具有两个固定触头(2)的基座(1)，

一个经由边缘部分沿安装线(11)固定的开关弹簧(3)，所说开关弹簧(3)可以在开启和闭合位置之间活动，并具有一个接触弹簧(4)。

一个布置在接触弹簧(4)上的活动触头(5)，并且在开关弹簧(3)处于闭合位置时桥接固定触头(2)，

一个可使开关弹簧(3)和接触弹簧(4)在开启和闭合位置之间移动的驱动构件，

其中，所说接触弹簧(4)设计成为可绕旋转轴线(12)转动的扭转弹簧，并且垂直于两固定触头(2)的连接线，和处于接触弹簧平面之中。

2.按照权利要求1所述的继电器，其特征为，所述接触弹簧(4)是所说开关弹簧(3)的一部分。

3.按照权利要求2所述的继电器，其特征为，接触弹簧(4)用刻蚀法除去部分所说开关弹簧(3)而制成。

4.按照权利要求2或3所述的继电器，其特征为，接触弹簧(4)包括一个横向于旋转轴线(12)而延伸的接触部分(6)，和一个或多个弹簧部分(7)，后者在所说旋转轴线(12)区域连接到接触部分(6)和开关部分(3)。

5.按照权利要求4所述的继电器，其特征为，弹簧部分(7)的构形遵循多段弯曲途径。

6.按照权利要求4或5所述的继电器，其特征为，弹簧部分从接触部分的对面一侧开始。

7.按照权利要求1至6之任一项所述的继电器，其特征为，开关弹簧(3)附着于基座件(1)并从其上弯曲出去。

8.按照权利要求1至7之任一项所述的继电器，其特征为，固定触头(2)布置成为其连接线垂直于所说安装线(11)。

9.按照权利要求1至7之任一项所述的继电器，其特征为，固定触头(2)布置成为其连接线平行于所说安装线(11)。

10.按照权利要求7至9之任一项所述的继电器，其特征为，驱动件包括一个布置在开关弹簧(3)面向基座(1)一侧的第一电极(8)，一个布置在基座(1)上并与第一电极对向的第二电极(9)，和一个连接于电极(8，9)的直流电压电源。

11.按照权利要求1至10之任一项所述的继电器，其特征为，所说开关弹簧(3)用硅制成，而所说基座件(1)用硅或玻璃制成。

12.一种按照权利要求11所述的继电器的制造方法，包括下列步骤：

a)在第二电极(9)上沉积一层绝缘覆盖层(10)，和把固定触头(2)设置在基座底层上，从而构成基座件(1)，

b)把在面向基座底层的晶片一侧具有硅涂层的硅晶片粘贴到基座底层上，

c)刻蚀硅晶片一直到只剩下硅涂层，

d)在硅涂层制作图案以形成开关弹簧(3)和接触弹簧(4)。