[发明专利]高性能图形发生器的数据路径

权利要求书

1.一种以高吞吐量和高精度把符号输入格式的图形数据，例如，GDSII，转换成多值位图，并把所述位图馈入到图形发生器中的模拟空间能量束调制器(SEBM)的方法，包括以下的步骤：

接收输入格式并在至少一个分块处理器中把它分块成分块区段，

发送分块区段的分块数据到至少有一个光栅化处理器的光栅化模块，

在所述光栅化处理器中把至少部分该数据光栅化为对应于SEBM上一个区域的邻接位图，和

装入所述邻接位图到SEBM的所述区域。

2.按照权利要求1的方法，其中在装入位图数据到SEBM时，把一个像素的多值数据转换成模拟多值电磁量。

3.按照权利要求2的方法，其中所述电磁量是电位。

4.按照权利要求1的方法，其中校正位图数据是由于SEBM响应中的非线性或像素到像素的变化。

5.按照权利要求4的方法，其中校正一个像素的数据是通过查阅预先存储的查阅表。

6.按照权利要求5的方法，其中所述表查阅是基于数据值和SEBM中的像素位置。

7.按照权利要求5的方法，其中所述表查阅是基于像素值和对应于至少一个物理参数的变化的一个像素的一组响应函数中的一个响应函数。

8.按照权利要求7的方法，其中所述物理参数至少包括以下各个参数之一：

-电子偏置

-电子增益

-反射镜机械刚度

-残余应力

-波前平整性

-波束指向

-光效率，例如，反射或透射

-存储器效应

9.按照权利要求4的方法，其中校正一个像素的数据是借助于算术计算。

10.按照权利要求1的方法，其中至少有两个光栅化模块。

11.按照权利要求10的方法，其中SEBM的表面被分成多个子区段，且一个光栅化模块永久地分配给一个子区段。

12.按照权利要求11的方法，其中分块区段对应于SEBM的子区段。

13.按照以上权利要求中任一个的方法，其中空间能量束调制器(SEBM)是空间光调制器(SLM)。

14.一种以高吞吐量和高精度把符号输入格式的图形数据，例如，GDSII，转换成多值位图，并把所述位图馈入到图形发生器中的模拟空间能量束调制器(SEBM)的方法，包括以下的步骤：

接收输入格式并在至少一个分块处理器中把它分块成分块区段，

分配SEBM的相连区到输入图形描述中的相连区，

发送所述图形区的分块数据到至少有一个光栅化处理器的光栅化模块，

在所述光栅化模块中把至少部分该数据光栅化为邻接位图，和

装入所述位图到SEBM的所述区域。

15.按照权利要求14的方法，其中SEBM的至少两个相连区分配给输入数据中的两个区域，并发送到两个光栅化处理器。

16.按照权利要求14的方法，其中至少两个分块处理器发送数据到至少两个光栅化处理器。

17.按照权利要求14的方法，其中一个分块处理器发送数据到至少一个光栅化处理器，而另一个分块处理器发送数据到没有从第一个分块处理器接收数据的至少一个光栅化处理器。

18.按照权利要求17的方法，其中在分块处理器与光栅化处理器之间有固定的关联。

19.按照权利要求14的方法，其中一个分块模块发送数据到至少包含两个光栅化处理器的至少一个光栅化模块。

20.按照权利要求14的方法，其中至少包含两个分块处理器的一个分块模块发送数据到至少包含两个光栅化处理器的至少一个光栅化模块。

21.按照权利要求14的方法，其中一个分块模块发送数据到一个光栅化模块，而另一个分块模块发送数据到其他的光栅化模块。

22.按照权利要求14-21中任何一个的方法，其中空间能量束调制器(SEBM)是空间光调制器(SLM)。