[发明专利]用于在长形基体上气相沉积的装置和方法

权利要求书

1.一种用于在具有纵向轴线的长形基体构件上化学沉积合成材料的方法，该方法包括下列步骤：

—将上述长形构件的一端固定在一抓握构件中，

—通过上述抓握构件赋予上述长形构件绕上述纵向轴线的旋转，以及

—在上述长形构件上沉积合成材料，其特征为，它包括这样的步骤，即进一步限制上述长形构件的一端在一轴向平面中的角度旋转。

2.如权利要求1的方法，其特征为，上述进一步限制角度旋转的步骤包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端。

3.如权利要求2的方法，其特征为，上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤在上述长形构件的两相对端进行。

4.如权利要求2的方法，其特征为，上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤在上述长形构件的同一端进行。

5.如权利要求1的方法，其特征为，上述进一步限制角度旋转的步骤可以包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向隔开的位置沿径向约束上述长形构件的每一端。

6.一种用于在长形基体构件(2)上化学沉积合成材料的装置，该装置包括：

—旋转的用电动机(20)驱动的抓握构件(5)，它可以结合至长形构件(2)的第一端部(2a)上；

—一支承装置(8)，它能支承上述长形构件(2)的第二端部(2b)；和

—一烧嘴装置(11)；上述长形构件(2)能绕一在上述旋转抓握构件(5)与上述支承装置(8)之间延伸的旋转轴线(18)作旋转运动，

其特征为，上述支承构件(8)包括：

—一第一支承构件(34)，它能与上述第二端部(2b)结合，以允许第二端部相对于第一支承构件(34)作旋转运动和轴向滑动，上述第一支承构件(34)还在上述旋转轴线(18)上对第二端部(2b)提供一径向约束；

—第二支承构件(35)，它能与上述第二端部(2b)结合，以允许第二端部相对于第二支承构件(35)作旋转运动和轴向滑动，第二支承构件(35)还在上述旋转轴线(18)上对第二端部(2b)提供一径向约束；

上述第一支承构件(34)和上述第二支承构件(35)沿上述旋转轴线(18)彼此隔开一预定的距离(L1)。

7.如权利要求6的装置，其特征为，上述第一支承构件(34)和上述第二支承构件(35)各自包括一支承外壳(43、44)和许多旋转构件(62、68)，该旋转构件被支承外壳(43、44)支承并可相对于支承外壳(43、44)绕平行于上述旋转轴线(18)的相应轴线旋转，上述旋转构件(62、68)允许上述长形构件(2)作上述角度旋转运动，并共同提供上述径向约束。

8.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件(62、68)是椭球形。

9.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件(62、68)是球形。

10.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件有一弹性环(73)，该环限定一对应于其环形区(72)的上述第二端部(2b)的外表面的支承，它沿最大径向尺寸的横截面延伸。

11.如权利要求7的装置，其特征为，上述支承外壳(43、44)包括至少一第一外壳部分(43)和一第二外壳部分(44)，该第一外壳部分支承上述第一许多旋转构件(62)，该第二外壳部分支承上述第二许多旋转构件(68)；至少上述第一和第二外壳部分(43)能在一打开位置和一闭合位置之间移动，在打开位置，上述第二端部(2b)可放置在上述支承装置(8)中，在闭合位置，上述旋转构件(62、68)允许上述长形构件(2)作上述角度旋转并提供径向约束。

12.如权利要求11的装置，其特征为，上述第一许多旋转构件(62)包括两个旋转构件，上述第二许多旋转构件(68)包括两个旋转构件。

13.如权利要求11的装置，其特征为，上述第一外壳部分(43)和上述第二外壳部分(44)是铰接(58)在一起的。