[发明专利]液滴沉积装置

权利要求书

1.一种适合在液滴沉积装置中使用的元件，包括具有顶表面和与一个底板(86)相连的底表面的压电材料本体(100)，所述本体具有多个从所述底表面延伸进入所述压电本体的上槽(7)和相应的从所述本体的底表面延伸进入压电本体(100)的多个下槽(630)；其特征在于，所述的槽具有这样的深度，使得在至少一个上槽(7)和相应的下槽之间具有连接。

2.如任一前述权利要求所述的元件，其中所述上槽(7)的宽度大于所述下槽(630)的宽度。

3.如权利要求1或2所述的元件，其中所述粘结剂材料(710)置于本体(100)和底板(86)之间。

4.如权利要求3所述的元件，其中所述下槽(630)填充有粘结剂材料(710)。

5.如权利要求3或4所述的元件，其中粘结剂材料(710)含有其刚度大于粘结剂的刚度的颗粒(804)。

6.如权利要求5所述的元件，其中颗粒的直径是1-10微米。

7.如权利要求3-6任何一项所述的元件，其中粘结剂(670)的厚度大于用于粘结所需的厚度。

8.如权利要求7所述的元件，其中粘结剂(670)的厚度从所述底板的一边到另一边是改变的。

9.如权利要求7或8所述的元件，其中底板(86)具有一个基本上不连续的表面，并且所述粘结剂提供一个基本上没有不连续性的层。

10.如前述任何一个权利要求所述的元件，其中所述本体和底板之间的粘结剂的厚度在1-100微米之间。

11.如权利要求5-10任何一项所述的元件，其中至少一个下槽(630)在上槽宽度上的非中心点与相应的上槽(7)相连。

12.如权利要求5-10任何一项所述的元件，其中粘结剂材料(550)在底板上延伸超过本体(100)的边沿。

13.如前面任何一项权利要求所述的元件，其中本体(100)的至少一个边沿被制成斜面。

14.如权利要求13所述的元件，所述本体的制有斜面的边沿垂直于所述槽延伸的方向。

15.如权利要求12-14任何一项所述的元件，其中所述斜面延伸通过延伸超过所述本体(100)边沿的粘结剂(550)。

16.如前述任何一项权利要求所述的元件，其中所述本体(100)由二或更多层(250，260)压电材料的层叠体构成。

17.如权利要求16所述的元件，其中所述压电材料的层沿相反方向被极化。

18.如前面任何一项权利要求所述的元件，其中相邻的槽被插入的壁隔开。

19.如前面任何一项权利要求所述的元件，其中设有电极(190)，用于使所述壁产生剪切变形。

20.一种形成用于液滴沉积装置中的元件的方法，包括以下步骤：提供底板(86)和具有顶表面和底表面的压电材料本体(100)；在所述本体的底表面中锯出多个下槽(630)；利用粘结剂(710)使所述本体的底表面和底板相连；以及随后在所述本体的顶表面锯出多个上槽(7)；其特征在于，至少一个上槽被锯到这样的深度，使得其延伸通过所述本体，并且和相应的下槽相连。

21.如权利要求20所述的方法，其中提供足够的粘结剂，用于填充所述下槽。

22.如权利要求20或21所述的方法，其中在形成所述上槽的锯切割步骤期间除去粘结剂(681)的一部分。

23.如权利要求20到22任何一项所述的方法，其中在所述上槽形成之后所述本体(100)被分成至少两个不同的槽阵列(110a，110b)。

24.如权利要求20-23任何一个所述的方法，其中过量的黏胶(670)被挤到本体的侧部，从而形成加厚部(550)。