[发明专利]包括集成微机械式环形谐振器的时基

权利要求书

1.时基包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，其特征在于，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，该谐振器(4)支承在衬底(2)的上方且适宜于按第一振荡模式绕与所述衬底(2)基本垂直的旋转轴(○)发生振荡，该环形谐振器(4)包括：

一中央立柱(5)，由所述衬底(2)沿旋转轴(○)伸出；

一独立式振荡构件(6)，连接中央立柱(5)且包括：

一外环(60)，与所述旋转轴(○)共轴；及

一些弹性元件(62)，对称地配置在中央立柱(5)的周围且将外环(60)与中央立柱(5)连接起来；及

至少一对沿直径方向对置的电极构件(9，9^*)，它们配置在外环(60)的周围并与所述集成电子电路(3)连接。

2.根据权利要求1所述的时基，其特征在于，所述电子电路(3)与所述微机械式环形谐振器(4)一起集成在上述衬底(2)上。

3.根据权利要求1所述的时基，其持征在于，所述弹性元件(62)是弯曲形的且通过第一接合处(63)与所述中央支柱(5)基本垂直地连接。

4.根据权利要求3所述的时基，其特征在于，所述弹性元件(62)通过第二接合处(64)与所述外环(60)基本垂直地连接。

5.根据权利要求3或4所述的时基，其特征在于，所述接合处(63，64)有圆角(63a、64a)。

6.根据权利要求1所述的时基，其特征在于，弹性元件(62)的数量在4至50之间，最好约为20。

7.根据权利要求1所述的时基，其特征在于，所述独立式振荡构件(6)还包括至少一对配置在外环(60)周围沿直径对置的梳形构件(8)，该梳形构件包括：

支承件(80)，从外环(60)沿径向伸出；

至少一个第一横向件(82)，从上述支承件(80)的第一侧垂直伸出；及

至少一个第二横向件(84)，从所述支承件(80)的与所述第一侧相对的第二侧垂直伸出；

其特征还在于，各所述电极结构(9)包括：

第一梳形电极构件(91)，它与所述梳形件(8)配合且包括与所述第一横向件(82)靠近的第一电极(92)；及

第二梳形电极构件(93)，它与所述梳形件(8)配合且包括与所述第二横向件(84)靠近的第二电极(94)。

8.根据权利要求7所述的时基，其特征在于：

所述第一梳形电极构件(91)用于驱动所述环形谐振器(4)发生振荡；

所述独立式振荡构件(6)通过所述中央立柱(5)连接固定电位；及

所述第二梳形电极构件(93)用于检测从环形谐振器(4)振荡所发出的信号；

恒定直流电压分量加到所述第一梳形电极构件(91)的一个或两个或独立式振荡构件(6)。

9.根据权利要求1所述的时基，其特征在于，所述独立式振荡构件(6)还包括至少一对环绕外环(60)布置沿直径对置的梳形件(8*)且包括：

支承件(80)，从外环(60)沿径向伸出；及

至少一个第一横向件(82)，从所述支承件(80)的第一侧基本垂直伸出；

及，其特征还在于，各上述电极构件(9*)包括：

一梳形电极构件(91)，它与上述梳形件(8)配合且包括与所述第一横向件(82)靠近的第一电极(92)。

10.根据权利要求9所述的时基，其特征在于：

所述梳形电极构件(91)用于驱动环形谐振器(4)发生振荡；及

所述独立式振荡构件(6)通过中央立柱(5)连接到固定电位；

恒定直流电压分量加到所述梳形电极构件(91)的一个或两个上或独立式振荡构件(6)；及

通过探测谐振时阻抗变化来进行检测。

11.根据权利要求7或9所述的时基，其特征在于，所述横向件(82、84)及所述电极(92、94)都是圆弧形的且与所述外环(60)同轴。