[发明专利]高纯度低电阻的静电吸盘有效
| 申请号： | 00816808.3 | 申请日： | 2000-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1407956A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | R·迪瓦卡 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B41/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纯度 电阻 静电 吸盘 | ||
【说明书】：
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