[发明专利]低成本可液化气体洗净方法

权利要求书

1、一种低成本可液化气体洗净方法，以从选定物件上移除污染物，其特征在于：其包含下列步骤：将该含有污染物的物件放置在一清洗槽中；将一所需量的可液化气体注入清洗槽中，该可液化气体的压力是低于其临界压力状态；将该含有污染物的物件与该可液化气体接触，其温度是低于其临界温度；沿该可液化气体的定比容线变化该可液化气体的温度，以改变该可液化气体的状态，且在每一状态维持一足够时间，以将该物件上污染物移除；及将包含污染物的可液化气体排出该清洗槽。

2、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：该可液化气体是选自二氧化碳(carbon dioxide)，氨(ammonia)，氦(helium)，氩(argon)，氙(Xenon)及氧化亚氮(nitrous oxide)及其组合。

3、如权利要求2所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体具有氢键或极性化合物的添加剂。

4、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体所需量是根据该物件体积、清洗槽内体积及足以淹没该物件的液面所决定。

5、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体是以液态注入清洗槽内，且由一流量计量测所需的量。

6、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体是以固态注入清洗槽内，且由一磅秤量测所需的量，再加热至液气平衡状态。

7、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该定比容线是由注入清洗槽内的可液化气体所需量及清洗槽内的剩余空间决定。

8、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体是在液态维持一足够时间，且利用机械式清洗法以强化将该物件上污染物移除的效果。

9、如权利要求8所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该机械式清洗法是选自喷嘴、搅拌、及超音波或超高频超音波(megasonic)类方法及其组合。

10、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该温度变化是由低于该可液化气体临界温度的一第一温度增加至高于该可液化气体临界温度的一第二温度。

11、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该可液化气体是沿定比容线变化温度，而从超临界状态移至液气平衡状态，然后再回至超临界状态。

12、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其在将含污染物的可液化气体排出该清洗槽后，另包含一分离步骤，以分离该含污染物的可液化气体的污染物，及回收该可液化气体，以供重复使用。

13、如权利要求12所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中至少是以过滤及减压其中的一种方式分离该可液化气体的污染物。

14、如权利要求13所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该减压方式是以分段式降压，以防止损伤物件及该污染物再沉积在该物件。

15、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该回收该可液化气体步骤是纯化该可液化气体及冷凝至液态。

16、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中补充该可液化气体是将固态可液化气体放入清洗槽中，加热使其从固态转换至液气平衡状态，然后再循环至储存槽中。

17、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该物件是选自包含金属、非金属及复合材料族群的材料。

18、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中该污染物是选自包含有机、无机、离子化合物及微粒的族群。

19、如权利要求1所述的低成本可液化气体洗净方法，其特征在于：其中在取出已洗净物件前，将已洗净物件加热以防取出时的水汽凝结。