[发明专利]MEMS磁性致动开关及相关的开关阵列

权利要求书

1．一种MEMS电交叉点开关，包括一个微电子衬底(12)，其特征在于：

一个磁性元件(14)，附于微电子衬底(12)，并且响应磁场而在预定方向自由地移动，以有选择地使电流从磁性传导的第一电线(24)转换到第二电线(26)。

2．权利要求1的MEMS电交叉点开关，还包括一个夹持元件(36)，安排在所述微电子衬底上，并且与所述磁性元件连通，其中施加夹持力使所述磁性元件夹持在所述衬底上。

3．权利要求2的MEMS电交叉点开关，其中所述夹持元件包括一个夹持电极(224)，它能够施加电压，以使所述磁性元件夹持在所述衬底上。

4．权利要求2或3的MEMS电交叉点开关，其中所述夹持元件包括一个夹持磁极(154)，它能够施加磁场，以使所述磁性元件夹持在所述衬底上。

5．权利要求2、3或4的MEMS电交叉点开关，其中所述夹持元件包括一个机械夹持件，它能够施加机械力，以使所述磁性元件夹持在所述衬底上。

6．一种MEMS电开关阵列，包括一个微电子衬底(122)，和一个与所述微电子衬底连通的磁场源(14)，其特征在于：

多条第一和第二电线(124,126)，以阵列形式安排在微电子衬底(122)上，其中所述第一电线(124,126)是磁性传导的；和

多个MEMS电交叉点开关(120)，安排在微电子衬底(122)上，其中各MEMS电交叉点开关(120)包括一个磁性元件(152)，附于微电子衬底，并且响应磁场而在预定方向自由地移动，以有选择地使电流从多条第一电线(124)中的一条转换到多条第二电线(126)中的一条。

7．权利要求6的MEMS电开关阵列，其中所述多个MEMS电交叉点开关贴近多条第一电线中的一条与多条第二电线中的一条之间的重叠处单独安排。

8．权利要求6或7的MEMS电开关阵列，其中所述多条第一和第二电线安排在所述微电子衬底上，以便所述多条第一电线限定第一电线的各个行，而所述多条第二电线限定第二电线的各个列。

9．权利要求8的MEMS电开关阵列，其中第一电线的所述行和第二电线的所述列以一般垂直关系重叠。

10．权利要求8或9的MEMS电开关阵列，其中第一电线的所述行相对所述微电子衬底的参考中心点径向地延伸，而第二电线的所述列相对参考中心点以幅条状方式向外延伸。