[发明专利]气体混合装置无效
申请号: | 01101514.4 | 申请日: | 2001-01-12 |
公开(公告)号: | CN1323650A | 公开(公告)日: | 2001-11-28 |
发明(设计)人: | J·P·汉利 | 申请(专利权)人: | 普莱克斯技术有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F15/04;G05D11/03 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王其灏 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 混合 装置 | ||
1.用于准确混合复合气体(plurality gases)的简便的气体混合装置,所述装置包括:
(a)气体控制板(gas panel);
(b)用于调整压差的压力控制阀;
(c)流量计;和
(d)静态混合室。
2.权利要求1的装置,其中所述装置混合一种少量气体和一种主气体。
3.权利要求2的装置,其中所述主气体为氮气和所述少量气体为空气。
4.权利要求2的装置,其中所述主气体为氮气和所述少量气体为氧气。
5.权利要求2的装置,其中所述装置混合所述主气体和所述少量气体以得到在氮气中大约100ppm至大约10,000ppm的氧气的气体混合物。
6.权利要求2的装置,其中所述控制阀调整所述压差至大约±5英寸水柱。
7.权利要求1的装置,其中所述装置与回流烘箱(reflow oven)形成一整体。
8.权利要求1的装置,其中所述静态混合室包括固定的管线内挡板。
9.权利要求1的装置,其中所述流量计为转子流量计。
10.权利要求1的装置,其中采用缓冲罐和扩散式喷嘴替换所述静态混合室。
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