[发明专利]气体混合装置无效

专利信息
申请号: 01101514.4 申请日: 2001-01-12
公开(公告)号: CN1323650A 公开(公告)日: 2001-11-28
发明(设计)人: J·P·汉利 申请(专利权)人: 普莱克斯技术有限公司
主分类号: B01F3/02 分类号: B01F3/02;B01F15/04;G05D11/03
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王其灏
地址: 美国康*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 气体 混合 装置
【权利要求书】:

1.用于准确混合复合气体(plurality gases)的简便的气体混合装置,所述装置包括:

(a)气体控制板(gas panel);

(b)用于调整压差的压力控制阀;

(c)流量计;和

(d)静态混合室。

2.权利要求1的装置,其中所述装置混合一种少量气体和一种主气体。

3.权利要求2的装置,其中所述主气体为氮气和所述少量气体为空气。

4.权利要求2的装置,其中所述主气体为氮气和所述少量气体为氧气。

5.权利要求2的装置,其中所述装置混合所述主气体和所述少量气体以得到在氮气中大约100ppm至大约10,000ppm的氧气的气体混合物。

6.权利要求2的装置,其中所述控制阀调整所述压差至大约±5英寸水柱。

7.权利要求1的装置,其中所述装置与回流烘箱(reflow oven)形成一整体。

8.权利要求1的装置,其中所述静态混合室包括固定的管线内挡板。

9.权利要求1的装置,其中所述流量计为转子流量计。

10.权利要求1的装置,其中采用缓冲罐和扩散式喷嘴替换所述静态混合室。

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