[发明专利]化学放大型正光刻胶组合物

权利要求书

1．一种化学放大型正光刻胶组合物，含有

树脂(X)，其本身不溶于或微溶于碱，但通过酸的作用溶于碱，它具有衍生于3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯的聚合单元(a)，和衍生于β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的聚合单元(b)，其中内酯环可以任选被烷基取代；

和产酸剂(Y)。

2．按照权利要求1的化学放大型正光刻胶组合物，其中除了衍生于3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯的聚合单元(a)和衍生于β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的聚合单元(b)，所述树脂进一步含有具有酸不稳定基团的聚合单元。

3．按照权利要求2的化学放大型正光刻胶组合物，其中所述酸不稳定基团为下式(Ⅲ)所示的2-烷基-2-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯：其中R⁶表示氢或甲基，R⁷表示烷基。

4．按照权利要求1的化学放大型正光刻胶组合物，其中衍生于3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯的聚合单元(a)与其中内酯环可被烷基任选取代的、衍生于β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的聚合单元(b)的摩尔比为2∶8至8∶2。

5．按照权利要求2的化学放大型正光刻胶组合物，它是通过包括3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯、β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的单体与用于衍生具有酸不稳定基团聚合单元的单体进行共聚制备的，其中3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯和β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的总量，与用于衍生具有酸不稳定基团聚合单元的单体量的摩尔比为2∶8至8∶2

6．按照权利要求1的化学放大型正光刻胶组合物，其中还进一步含有猝灭剂。