[发明专利]能自动拆卸的处理排放气体用涤气装置

说明书

本发明系关于处理排放气体的一种涤气装置，再详细地说就是关于具有一种能自动拆卸功能的处理排放气体用涤气装置。

通常在制造半导体的过程中产生的排放气体，都含有浓度较高的毒性物质，为此必须在这种排放气体排放到大气之前清除其毒性物质才可。在图1中示出了这种用来清除排放气体毒性物质的一种涤气装置。如图所示，它由下述的几个部分组成：流入排放气体的流入口1；对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室3；与上述燃烧室的下端相连的湿法处理室5，它用来清除经燃烧室3处理过的排放气体中尚含有的水溶性有害物质；将经由上述处理过程的排放气体进行向外泄放用的排放口(图中未示出)。这种涤气装置，详细地记载于美国专利第5、997、824号上。这种处理排放气体用的涤气装置，为了清除其内部构件，如燃烧室及湿法处理室等的粉尘以及污渍，需要定期的去拆卸装置来进行打扫。但是，传统的那种涤气装置，都是简单地加以组装的设备，因此必须一个一个的去拆卸，去清洗，很不方便。

本发明的目的是提供一种拆卸简便而且清洗方便的能自动拆卸的处理排放气体用涤气装置，以便去解决上述存在的问题。

本发明的目的是这样实现的，为了达到上述的目的，本发明的涤气装置，将做成一种能自动拆卸的结构，这种涤气装置，由燃烧室、湿法处理室、排放口以及容纳它们的箱体组成，燃烧室将燃烧处理通过流入口流入的排放气体；湿法处理室将清除从燃烧室被处理过的排放气体中尚含有的水溶性有害物质；排放口将排放被处理过的排放气体，其特征在于：在这一涤气装置的湿法处理室两侧下方，特地设有水平移动的导向机构，以便能让湿法处理室沿着该水平移动导向机构推出箱体；燃烧室的一端通过枢轴折页与湿法处理室相连，并在其侧面设有一个旋转轴，以便当湿法处理室沿着水平移动导向机构推出箱体时使燃烧室能旋转90度角。

另外，在湿法处理室背面的下方备有能插入螺杆的机构，而在箱体下方设有驱动螺杆的电动机，通过驱动该电动机来控制燃烧室的旋转和湿法处理室的移动，本发明的涤气装置，由于能够进行自动拆卸，它具有清洗极为方便的长处。

如上所述，本发明的涤气装置通过湿法处理室的水平移动和燃烧室的旋转移动，可以进行自动拆卸，清洗作业也变得很简单，于是便于进行有效的维护管理，涤气装置的使用寿命也可以得到延长。

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

图1示出传统的涤气装置具体结构局部剖析图。

图2是本发明涤气装置的局部剖析图、是本发明的一个实施例。

图3、4、5是三个侧视图，它示出在图2中示出的本发明涤气装置的内部构件逐次移动的情况。

图6是一个侧面板的形状，是本发明的涤气装置中，能使燃烧室的旋转空间变得最小的一种侧面板的形状实例。

其中  11：流入口  13：燃烧室  15：湿法处理室  17a、17b：水平移动导向机构  19a、19b：螺杆  21a、21b：电动机  23：侧面转轴  25：葫芦状导轨。

在图2中，本发明的涤气装置也由流入口11、燃烧室13、湿法处理室15、排放口(图中未示出)以及容纳燃烧室13和湿法处理室15的箱体等组成。其中，排放的气体将流入流入口11；燃烧室13则与流入口11的一端相连，并对流入的排放气体进行燃烧处理；湿法处理室15相联在燃烧室13的下端，它将清除经由燃烧室13进行过燃烧处理的排放气体中的水溶性有害物质；排放口连结到湿法处理室15的一端，它将向外排放被处理的排放气体。

这种涤气装置在湿法处理室15两侧下端，特地设有水平移动导向机构17a和17b；湿法处理室15将沿着水平移动导向机构17a和17b进行移动，以便可以从箱体中推出或者推入。在湿法处理室15背部下方备有可以插入螺杆19a和19b的机构；在箱体10的下方设有用来旋转螺杆的电动机21a和21b；利用电动机来驱动17a和17b，并借此可以去控制湿法处理室15的移动。湿法处理室的水平移动当然可以采用手动方式，也可以采用除电动机和螺杆以外一般能使用的其它的水平移动方式。另外，燃烧室13的背部下端用枢轴折页与湿法处理室的背部上端相连接；而在其两侧设有旋转轴23。当湿法处理室15沿水平移动导向机构17a和17b向箱体外部推出来时，燃烧室13将在箱体内做90度的旋转运动。