[发明专利]具抗静电效应的光罩无效
| 申请号： | 01104345.8 | 申请日： | 2001-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1372321A | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 徐震球;钟振辉;林义雄 | 申请（专利权）人： | 矽统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/60 | 分类号： | H01L23/60;H05F3/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗静电 效应 | ||
【权利要求书】：
1、一种具抗静电效应的光罩，包含：
一基座；
一铬膜，位于该基座表面，用于表示电路图案；及
一高分子聚合物层，涂布于该基座及铬膜的表面，具有透光性及微导电性；
通过涂布该高分子聚合物，可使该光罩不致因静电累积而损毁。
2、如权利要求1所述的光罩，其中该高分子聚合物层的导电度是于每厘米50至2000S之间。
3、如权利要求1所述的光罩，其中高分子聚合物层的材料是选自聚乙炔、聚吡咯、聚噻吩、聚苯硫醚或聚呋喃。
4、如权利要求1所述的光罩，其中该铬膜及高分子聚合物层之间还包含一氧化铬层，用以防止该铬膜在曝光时的反射现象。
5、如权利要求1所述的光罩，其中该基座为一二氧化硅玻璃。
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