[发明专利]显示装置用基板及其制造方法、以及液晶装置及电子设备

权利要求书

1．一种显示装置用基板，备有多个显示用电极、及用于对上述多个显示用电极施加电压的多条配线，该显示装置用基板的特征在于：上述配线，具有由与上述显示用电极为同一层的透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。

2．根据权利要求1所述的显示装置用基板，其特征在于：上述显示用电极，具有由透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。

3．根据权利要求2所述的显示装置用基板，其特征在于：上述显示用电极的上述金属层，其宽度比上述透明导电层的宽度窄。

4．根据权利要求1或权利要求2所述的显示装置用基板，其特征在于：上述显示用电极，具有上述透明导电层与上述金属层的层叠结构，在该层叠结构的部分上，上述金属层具有局部的开口。

5．根据权利要求1～4中的任何一项所述的显示装置用基板，其特征在于：上述配线，是从上述显示用电极的端部起沿着上述基板的周缘围设的配线。

6．一种液晶装置，通过将液晶夹在一对基板之间而形成，该液晶装置的特征在于：通过将权利要求1～5中的任何一项所述的显示装置用基板用作上述一对基板中的至少一个而构成。

7．一种液晶装置，其特征在于：通过将液晶层夹在权利要求4所述的显示装置用基板和与其相对配置的对置基板之间而构成，并具有将上述金属开口部用作光透射部的透射型显示功能及将上述金属层部分用作光反射部的反射型显示功能。

8．一种电子设备，其特征在于：具有权利要求6或权利要求7所述的液晶装置作为显示单元。

9．一种显示装置用基板的制造方法，用于制造权利要求1～5中的任何一项所述的显示装置用基板，该制造方法的特征在于，包括：在上述基板上形成上述透明导电层的透明导电层形成工序；在上述透明导电层上层叠金属层的金属层层叠工序；同时刻蚀上述透明导电层及上述金属层的刻蚀工序。

10．一种显示装置用基板的制造方法，用于制造权利要求1-5中的任何一项所述的显示装置用基板，该制造方法的特征在于，包括：在上述基板上形成上述透明导电层的透明导电层形成工序；在上述透明导电层上层叠金属层的金属层层叠工序；用第1光致抗蚀剂膜同时刻蚀上述透明导电层及上述金属层并形成图案的第1刻蚀工序；通过对上述第1光致抗蚀剂膜进行曝光和显影而形成具有规定图案的第2光致抗蚀剂膜并用所述第2光致抗蚀剂膜仅刻蚀上述金属层并形成图案的第2刻蚀工序。

11．根据权利要求10所述的显示装置用基板的制造方法，其特征在于：按照上述第2刻蚀工序对上述显示用电极的上述金属层进行刻蚀，使其仅保留上述透明导电层的端部上的部分。

12．根据权利要求10所述的显示装置用基板的制造方法，其特征在于：按照上述第2刻蚀工序对上述显示用电极的上述金属层进行刻蚀，使其在上述透明导电层上具有开口部。

13．一种液晶装置，通过将液晶夹在一对显示装置用基板之间而构成，该液晶装置的特征在于：其中一个显示装置用基板，具有多个象素电极、及按附属于该各象素电极的方式形成的多个二端子型开关元件，另一个显示装置用基板，具有与上述多个象素电极相对配置的按条状排列的多个显示用电极、及与该显示用电极连接的配线，上述多个显示用电极包含透明的导电层，上述配线，具有由与上述显示用电极为同一层的透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。

14．一种液晶装置，通过将液晶夹在一对显示装置用基板之间而构成，该液晶装置的特征在于：其中一个显示装置用基板，具有多个象素电极、及按附属于该各象素电极的方式形成的多个三端子型开关元件，另一个显示装置用基板，具有与上述多个象素电极相对配置的按条状排列的多个显示用电极、与该显示用电极连接的配线，上述多个显示用电极包含透明的导电层，上述配线，具有由与上述显示用电极为同一层的透明的导电层构成的透明导电层与由电阻低于上述透明导电层的金属构成的金属层的层叠结构。