[发明专利]一种对硅/锗合金的硅化学选择腐蚀方法无效
| 申请号： | 01108247.X | 申请日： | 2001-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1140654C | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 施毅;郑有炓;汪峰;刘建林;陆阳;吴军;张荣;顾书林;胡立群;韩平;江若琏;朱顺明 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C23F1/02 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 化学 选择 腐蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
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