[发明专利]原子束发生器无效
申请号: | 01108434.0 | 申请日: | 2001-05-16 |
公开(公告)号: | CN1386041A | 公开(公告)日: | 2002-12-18 |
发明(设计)人: | 罗先刚;姚汉民;陈旭南;李展;陈献忠;张嵬 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | H05H3/02 | 分类号: | H05H3/02 |
代理公司: | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人: | 张一红,王庆理 |
地址: | 61020*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 原子 束发 | ||
1、一种原子束发生器,包括高温炉和真空腔体(9),其特征在于:高温炉、真空腔体(9)、大底座(12)由连接件连结成一体,并由真空密封条密封;由炉盖(4)、炉体(5)和炉底板(6)组成的高温炉中安装加热体(16)以及其中的原子容器(17);高温炉由真空腔体(9)支撑,真空腔体(9)以及真空腔体(9)内的载物台和其上的基片(10)安装在大底座(12)上;炉体(5)和大底座上(12)分别有连接真空机组的抽真空接口(1)和(13)。
2、根据权利要求1所述的原子束发生器,其特征在于:高温炉的炉盖(4)中心安装有与仪表(2)相连接的测量炉温的热电偶(3);炉底板(6)上放置隔热层(14)以及其内部的加热体(16),加热体(16)内的原子容器(17)安放在容器座(19)上;原子容器(17)由小盖(21)和容器体(22)构成,容器体(22)底部的中间部分向上突起形成凸台(23),凸台(23)的中心有小孔(25)。
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