[发明专利]半导体材料的高灵敏度分析技术的样品基质去除装置无效
| 申请号： | 01110216.0 | 申请日： | 2001-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1155442C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 廖宜宽;罗卿文 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体材料 灵敏度 分析 技术 样品 基质 去除 装置 | ||
【权利要求书】：
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