[发明专利]光学图像传感集成电路的单片规模封装有效
申请号: | 01110911.4 | 申请日: | 2001-02-28 |
公开(公告)号: | CN1315743A | 公开(公告)日: | 2001-10-03 |
发明(设计)人: | R·R·福斯特 | 申请(专利权)人: | 全视技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/98;H01L23/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王勇,陈景峻 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 图像 传感 集成电路 单片 规模 封装 | ||
本发明涉及到图像传感集成电路,尤其涉及到一个利用一种粘合料(adhesive matrix)进行单片规模封装的方法。
目前,在以前的技术中光学图像传感器器件的单片规模封装要求晶片完全镀上一种光学透明的粘合剂,然后覆盖上一种透明的护罩材料。通常,光学透明的粘合剂可以是一种环氧树脂,而透明材料是玻璃。
但是,几乎所有图像传感器为了满足性能目标都要求应用微透镜来增加光占空系数(optical fill factor)。如图1所示,显示了一种典型的光学传感器单片规模封装。此封装技术包括一个上面制作了图像传感器芯片的晶片101。在晶片101的顶上制作了微透镜103,各自覆盖每个像素(图像单元)。当填料扩展进刻划线后,就加上一个粘合层105,通常采用某种均匀旋转镀膜技术。最后,在粘合剂上加一个护罩玻璃107。粘合层105的作用是将护罩玻璃107紧固在晶片101上。通常,粘合剂是一种环氧树脂。
其次,将晶片101的背面磨光,使晶片更薄。然后用一种晶片锯开操作将伸出的图像传感器电导线暴露在减薄的晶片背面外。接着用传统的沉积和刻蚀过程将暴露的导线伸长形成电接触。最后,用一个模切机器将晶片101切成单个的传感器。
然而,这种以前的单片规模封装方法对图象传感器来说是有问题的,因为微透镜材料的折射率与粘合层105的折射率很相似。这样,粘合层105可能会抵消微透镜103的光学作用。
本发明是光学图象传感器集成电路的一种单片规模封装方法。微透镜放在一个上面有图像传感器的晶片上。一种诸如环氧树脂之类的粘合料放在晶片顶上。粘合料有开口,这些开口与晶片上面的集成电路图像传感阵列对齐。然后将一个护罩玻璃放在粘合料上,激活粘合料将护罩玻璃和晶片紧固在一起。因为粘合剂在微透镜上方有开口,所以粘合剂不会引起畸变。
图1是一种以前的图像传感器集成电路单片规模封装技术。
图2是依照本发明制作的一个粘合料顶视图。
图3是依照本发明制作的一种图像传感器单片规模封装的截面图。
图4是图3所示的单片规模封装的一个顶视图。
按照本发明,用一种粘合料将一个护罩玻璃与一个上面制作了图像传感器的晶片粘着在一起。特别是,参考图2,提供一种粘合料201。粘合料201也可以当作一个预制品。粘合料201包含开口203。开口203制成跟包含微透镜的晶片上的位置相符。
这样,由图4可见,开口203与晶片301顶上制作的微透镜303对齐,并放置在微透镜上。当粘合料201放在晶片301的顶上时,开口203与微透镜303是对齐的。其次,将一个护罩玻璃307加在粘合料201的顶上。注意粘合料201尺寸基本上跟晶片301一样。护罩玻璃307放到粘合料201的顶上之后,用光照、加压和/或加热激活粘合料201。这就导致粘合料201将护罩玻璃307和晶片301紧固在一起。结果在护罩玻璃307和微透镜阵列303之间形成了腔309。图4显示了单片封装的一个顶视图。
此外,从图4可见,用标记数字401显示了图像传感器的外边界。注意透镜阵列303只覆盖了实际的集成电路401的一部分。集成电路401的剩余电路用于信号处理,因此,它没有被微透镜303覆盖。集成电路401的外围区域会被粘合料201的粘合剂毫无不利作用地覆盖。将护罩玻璃307和晶片301粘着起来后,按照以前的技术,晶片301将进一步处理,切片产生单个的集成电路器件。
使粘合料具有不覆盖微透镜传感阵列的开口,以前的技术中遇到的环氧树脂抵消微透镜的光学作用的问题就可以避免了。换句话说,在微透镜上形成了不包含粘合剂的一个腔室。这允许微透镜工作时不会受到粘合剂的干扰。
确实,利用粘合料201形成的腔室309还可以实现其他好处。例如,腔室309可以填充气态或液态材料,进一步增强光学特性、温度特性或成像传感器的其他性能。在腔室中填充气体或液体材料可以在加护罩玻璃307之前进行。例如,一种折射率小于1的气态或液态材料可以进一步增强微透镜的光学特性。此外,具有良好散热特性的气态或液态材料可以用来散发掉图像传感器产生的热量,从而增加图像器件的性能。最后,粘合剂材料可以做成不透明的,以增强器件的性能。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全视技术有限公司,未经全视技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01110911.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:电力系统保护控制系统
- 下一篇:制备高纯度HFC-125的方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
- 彩色图像和单色图像的图像处理
- 图像编码/图像解码方法以及图像编码/图像解码装置
- 图像处理装置、图像形成装置、图像读取装置、图像处理方法
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序以及图像解码程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序、以及图像解码程序
- 图像形成设备、图像形成系统和图像形成方法
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序