[发明专利]形成淀积膜的设备和方法

权利要求书

1、一种形成淀积膜的设备，包括真空室，真空室内含有一对电极，电极包括要加电功率的电功率供给电极和其上要形成淀积膜的衬底。通过在衬底与电功率供给电极之间产生等离子体，并使引入真空室的作为形成淀积膜的原材料气体分解，在衬底上形成淀积膜，

其中，电功率供给电极用单个平面电极和电连接到平面电极的多个分隔开的电极构成，每个分隔开的电极的面积小于平面电极的平面面积，和

其中，多个分隔开的电极设在平面电极面对衬底的一侧上，以形成至少一个其形状与平面电极的平面形状几乎相同的基本上是平面的电极层。

2、按权利要求1的形成淀积膜的设备，其中，多个分隔开的电极中的一部分直接与平面电极接触。

3、按权利要求1的形成淀积膜的设备，其中，多个分隔开的电极设在平面电极面对衬底的一侧上，以形成多个基本上是平面的电极层。

4、按权利要求3的形成淀积膜的设备，其中，每个分隔开的电极的面积都相同。

5、按权利要求3的形成淀积膜的设备，其中，每个分隔开的电极的面积随电极层不同而不同。

6、按权利要求3的形成淀积膜的设备，其中，接近平面电极的电极层中的形成每个电极层的分隔开的电极的面积大于远离平面电极的电极层中的形成每个电极层的分隔开的电极的面积。

7、一种形成淀积膜的方法，包括在装有由要加电功率的电功率供给电极和其上要形成淀积膜的衬底组成的电极对的真空室中，在衬底与电功率供给电极之间产生等离子体，使引入真空室的用于形成淀积膜的原材料气体分解，在衬底上形成淀积膜，

其中，电功率供给电极用单个平面电极和电连接到平面电极的多个分隔开的电极构成，每个分隔开的电极的面积小于平面电极的平面面积，和，

多个分隔开的电极设置在平面电极面对衬底的一侧上，以形成至少一个其形状与平面电极的平面形状几乎相同的基本上是平面的电极层。

8、按权利要求7的形成淀积膜的方法，其中，多个分隔开的电极中的一部分与平面电极直接接触。

9、按权利要求7的形成淀积膜的方法，其中，多个分隔开的电极设在平面电极面对衬底的一侧上，以形成多个基本上是平面的电极层。

10、按权利要求9的形成淀积膜的方法，其中，每个分隔开的电极的面积都相同。

11、按权利要求9的形成淀积膜的方法，其中，每个分隔开的电极的面积随不同的电极层而不同。

12、按权利要求9的形成淀积膜的方法，其中，在接近平面电极的电极层中的形成每个电极层的分隔开的电极的面积大于远离平面电极的电极层中的形成每个电极层的分隔开的电极面积。