[发明专利]在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法

权利要求书

1．在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法，其中光学记录装置的一光束被投射到X射线束中，且其中要记录下被测对象的表面并将它作为含有多个象点的图象而输出，

其特征在于：

-表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)按移动途径的绝对量改变，

-至少在一个测量平面(32)上的象点的亮度变化要在表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)的至少一次变化期间被记录下来，

-在距离(26)的绝对量的至少一次变化之后图象中各象点的亮度差异的最大值要被确定，以及

-准直仪(17)和被测对象(16)的表面(14)之间的距离(26)被设定到所确定的亮度差异为最大值的位置。

2．在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象的位置的方法，其中光学记录装置的一光束被投射到X射线束中，且其中要记录下被测对象的表面并将它作为含有多个象点的图象而输出，

其特征在于：

-表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)按移动途径的绝对量改变，

-至少在一个测量平面(32)上的象点的亮度变化要在表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)的至少一次变化期间被记录下来，

-在距离(26)的绝对量的至少一次变化之后图象中各象点的亮度差异的最大值要被确定，

-选择与亮度变化记录相反的方向作为改变距离(26)的方向，以及

-在达到亮度差异的最大值后立即停止距离(26)的改变。

3．按照权利要求1或2的方法，其特征在于为了确定图象中各象点亮度变化所作的各次测量，是在准直仪(17)和表面(14)之间的距离(26)发生变化期间进行的。

4．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于为了确定在一个测量平面上亮度差异的最大值，各象点是用差分法根据函数F=∑(y_i-y_右邻)²+∑(y_i-y_上邻)²来确定的，这里的y_i是各象点的亮度值。

5．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于准直仪(17)和被测对象(16)的表面(14)之间的距离(26)的改变对应于测量途径的绝对量，在该测量途径中至少位于距准直仪(17)的距离(26)上的焦点(31)被经过。

6．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于个别的测量是从在优选地自由选定的时间间隔内的一系列的个别图象确定的，还在于从个别图象的值中形成一个平均值。

7．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于在个别的测量中准直仪(17)和被测对象(16)的表面(14)之间距离的变化速度是保持不变的。

8．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于在粗略搜索中为了第一次确定亮度差异的最大值，距离(26)的变化是以增大的速度实施的。

9．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于准直仪(17)和表面(14)之间的距离在第一中间位置(42)之后以重新设定的速度被重新设定到第二中间位置，这个位置最好接近于开始位置。

10．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于返回速度被设定成等于或大于粗略搜索时的速度。

11．按照上述各权利要求之一的方法，其特征在于精密搜索是以比起粗略搜索时降低了的速度进行的。

12．按照权利要求1的方法，其特征在于在经过了位于准直仪(17)和被测对象(16)表面(14)之问的焦点(31)之后，精密搜索停止，且被测对象(16)的表面(14)设定在指定为最大值的Z座标上。

13．按照权利要求1的方法，其特征在于在粗略搜索开始之前，增大准直仪(17)和被测对象(16)的表面(14)之间的予先设定的距离。

14．按照权利要求1的方法，其特征在于准直仪(17)和表面(14)之间距离(26)的变化是沿着Z座标实现的，且图象的个别测量是指定在与相应的Z座标适时的点上进行的。