[发明专利]用于无损测量薄层厚度的方法和仪器

权利要求书

1．用来用一个探针(11)和一个估计单元无损测量薄层厚度的方法，探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24)，该线圈器件的几何中心和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合，该至少第二线圈器件(31)部分围绕第一线圈器件(24)；对该估计单元，在确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号，该方法的特征在于提供一个电路(50)，通过它在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。

2．根据权利要求1所述的方法，其特征在于，线圈器件(24、31)用高频激励。

3．根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在彼此分立的时间发射的、来自第一和至少第二线圈器件(24、31)的频率信号，借助于最好由与线圈器件(24、31)类似的电路(50)致动的晶体管(54)，由用于每个线圈器件(24、31)的频率信号的发射的周期限制。

4．根据以上权利要求之一所述的方法，其特征在于，由线圈器件(24、31)发射的信号明确地分配到各线圈器件(24、31)，并且由一个串联振荡电路(65)彼此独立地估计。

5．根据以上权利要求之一所述的方法，其特征在于，线圈器件(24、31)用相同频率激励。

6．根据权利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，第一线圈器件(24)用一个在8与20MHz之间的频率激励，而另一个线圈器件(31)的用一个4与12MHz之间的频率激励。

7．根据以上权利要求之一所述的方法，其特征在于，在测量期间测量场正在变化的线圈器件(24、31)的振荡每秒钟至少被询问两次。

8．根据以上权利要求之一所述的方法，其特征在于，第一线圈器件(24)带有一个电路(51)而第二线圈器件(31)带有一个电路(52)，这两个电路彼此并联连接，并且提供一个双稳态多谐振荡电路(62、63)，通过这个电路，可以随时间便利地切换分别分配给线圈器件(24、31)的晶体管(54)。

9．根据以上权利要求之一所述的方法，其特征在于，由线圈器件(24、31)发射的频率信号经一个补偿器(58)通到估计单元。

10．特别是用来执行根据以上权利要求之一所述的方法的仪器，带有一个壳体18，带有一个第一线圈器件(24)和一个第二线圈器件(31)，及带有一个半球形放置圆顶(27)，该仪器的特征在于：提供一个带有一个接收靠近一根公共几何轴线(22)的第一线圈器件(24)的铁磁性杯形铁心(21)的探头(14)；杯形铁心(21)在公共轴线(22)上，带有一个销(23)位于第一线圈器件(24)内并且在其端面上提供一个至少部分从线圈器件(14)的端面突出的半球形放置圆顶(27)；及在杯形铁心(21)外部同心地提供一个第二线圈器件(31)。

11．根据权利要求10所述的仪器，其特征在于，第一线圈器件(24)的匝数等于或小于第二线圈器件(31)的匝数。

12．根据权利要求10和11之一所述的仪器，其特征在于，第一和第二线圈器件(24、31)彼此相对固定地布置，并且最好嵌入在浇注结构中。

13．根据权利要求9至11之一所述的仪器，其特征在于，第一和第二线圈器件(24、31)相对于探头(14)的端面布置在一个平面上。

14．根据权利要求10至13之一所述的仪器，其特征在于，杯形铁心(21)至少带有一个用来穿过连接线的侧槽(28)。

15．根据权利要求10至14之一所述的仪器，其特征在于，探头(14)这样安装，从而它能在导套(17)内轴向移动，并且对于相对于导套(17)固定布置的保护套管(16)退回。

16．根据权利要求15的所述仪器，其特征在于，保护套管(16)在指向探头(14)的端面上带有一个最好是棱形的凹槽(41)。

17．根据权利要求15或16所述的仪器，其特征在于，探针(14)克服弹簧力可以缩回保护套管(16)中，并且一个弹簧元件(37)以相对于导套(17)的一个轻微的偏置布置。