[发明专利]用激光束切割非金属衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种切割非金属衬底的方法，包括步骤：

i)通过向非金属衬底上预先确定的切割路线发射第一激光束迅速加热该切割路线的第一区；

ii)通过向被加热的切割路线发射冷流体束形成一个深度预先确定的划痕线；和

iii)通过沿第一激光束的发射路线发射第二光束迅速加热该划痕线，从而完全切割非金属衬底。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第二激光束仅发射在划痕线上方。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第二激光束的温度低于非金属衬底的熔点。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一激光束的宽度小于第二激光束的宽度，冷流体束的宽度小于第一激光束的宽度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一激光束的宽度小于5mm，第二激光束的宽度大于第一激光束的宽度并且小于20mm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷流体束发射在切割路线的第二区，第二区与切割路线的第一区相邻。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷流体束施加在切割路线的第三区上，第三区与切割路线的第一区间隔一预定距离。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，冷流体束和第一激光束之间的距离不大于25mm。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷流体束发射在切割路线的第四区上，该区位于第一区的内部，第一激光束发射在第一区。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，发射第二激光束以便有一个圆形形状或椭圆形状。

11.一种切割非金属衬底的装置，包括：

一个第一装置，该装置用来向非金属衬底内形成的切割路线上产生第一激光束以及用来产生第二激光束，第一激光束用来加热切割路线，以便在切割路线上形成一划痕线，第二激光束与第一激光束相隔一预定距离，以这样一种方式即，沿第一激光束的发射路线形成一个光栅；和

一个第二装置，该装置通过将冷流体束施加到在第一激光束和第二激光束之间形成的切割路线上而形成一个裂纹。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第二激光束的温度低于非金属衬底的熔点。

13.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第一装置包括一个用来产生第一和第二激光束的激光源。

14.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第一激光束的宽度小于第二激光束的宽度，冷却激光束的宽度小于第一激光束的宽度。

15.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第一激光束的宽度小于5mm，第二激光束的宽度大于第一激光束的宽度并且小于20mm。

16.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第一激光束与冷流体束之间的距离大于0。

17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，第一激光束与冷流体束之间的距离不大于25mm。

18.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，冷流体束与第一激光束之间的距离小于0。

19.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，冷流体束与第一激光束之间的距离等于0。

20.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第二激光束的深度比第一激光束的深度浅。

21.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，第二激光束为圆形或椭圆形。

22.一种切割非金属衬底的装置，包括：

一个第一装置，该装置用来向非金属衬底内形成的切割路线上产生第一激光束，以加热该切割路线，以便在该切割路线上形成一划痕线，以及用来向该划痕线上产生第二激光束，该第二激光束与第一激光束保持一个预定距离；和

一个第二装置，用来通过将冷流体束施加到该在第一激光束和第二激光束之间形成的切割路线上面而形成一个裂纹。

23.根据权利要求22所述的装置，其特征在于，第二激光束的温度低于非金属衬底的熔点。