[发明专利]等离子体显示器阻隔壁的制造方法

权利要求书

1.一种等离子体显示器的阻隔壁的制造方法，包括：

提供一玻璃基板；

于所述玻璃基板上形成多个定址电极；

于所述定址电极和所述玻璃基板上覆盖一介电层；

于所述介电层上形成一喷砂终止层材料，并定义形成多个喷砂终止层，这些喷砂终止层大致对应于这些定址电极，且每一喷砂终止层的宽度不小于每一定址电极的宽度；

于所述介电层上覆盖一阻隔材料层；

于所述阻隔材料层上形成一砂阻层材料并定义形成多个砂阻层；

进行一喷砂工艺，去除未被这些砂阻层覆盖的阻隔材料层，直至暴露出所述喷砂终止层，以形成多个阻隔壁；

去除所述砂阻层和所述喷砂终止层；以及

进行一烧结程序。

2.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述喷砂终止层的形成方法包括：

(a)进行一压膜工序，以于所述介电层上形成一第一感光性干膜；以及

(b)对所述第一感光性干膜进行一曝光显影工艺，以形成所述喷砂终止层。

3.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述砂阻层的形成方法包括：

(a)进行一压膜工序，以于所述阻隔材料层上形成一第二感光性干膜；以及

(b)对所述第二感光性干膜进行一曝光显影工艺，以形成所述砂阻层。

4.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述砂阻层和所述喷砂终止层间的水平距离为一预定值。

5.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中每两个喷砂终止层之间具有一间距，且所述每一阻隔壁具有一底部宽度，所述间距大致与所述底部宽度相同。

6.如权利要求3所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中每一个砂阻层具有一砂阻层宽度，且所述每一阻隔壁具有一顶部宽度，所述砂阻层宽度大致与所述顶部宽度相同。

7.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述阻隔壁的形状为直条状。

8.如权利要求1所述的等离子体显示器阻隔壁的制造方法，其中所述阻隔壁的形状为具有凹凸侧边的条状，用以增加放电空间。