[发明专利]基于绝缘体上的硅(SOI)材料的全内反射型阵列波导光栅器件及制法无效
申请号: | 01113309.0 | 申请日: | 2001-07-07 |
公开(公告)号: | CN1160894C | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | 江晓清;王明华;李柏阳;李锡华;周强 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H04J14/02 | 分类号: | H04J14/02;H04B10/12;G02B6/12;G02B6/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 31002*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 绝缘体 soi 材料 反射 阵列 波导 光栅 器件 制法 | ||
【权利要求书】:
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