[发明专利]在绝缘层硅材料上制作多模干涉型光耦合器的方法无效
申请号: | 01113449.6 | 申请日: | 2001-06-15 |
公开(公告)号: | CN1153076C | 公开(公告)日: | 2004-06-09 |
发明(设计)人: | 唐衍哲;王文辉;李铁;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海冶金研究所 |
主分类号: | G02B6/26 | 分类号: | G02B6/26;G03F7/16 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘 材料 制作 干涉 耦合器 方法 | ||
【权利要求书】:
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