[发明专利]生产半导体纯度级原料的高真空度电子束提纯系统有效
| 申请号： | 01114653.2 | 申请日： | 2001-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1136323C | 公开（公告）日： | 2004-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李明远;陈迎春;陈锦来;李欣洋 | 申请（专利权）人： | 李明远 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02 |
| 代理公司： | 深圳市中知专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王雄杰 |
| 地址： | 518029广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 半导体 纯度 原料 真空 电子束 提纯 系统 | ||
【说明书】：
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