[发明专利]干式真空泵

说明书

本发明涉及干式真空泵。

现有的爪式转子真空是采用成对的爪式转子对结构，通过其相互啮合传动，将从进气腔进入的气体经转子对同步反方向压缩，从排气口排出到下一级的进气口，下一级重复上一级的过程，从而形成真空的目的，如我设计的专利号97226078.1双级爪式转子无油真空泵专利。由于有无油的优点，故能成功应用于化工行业中抽出水蒸汽，汽油，酒精等有机溶剂环境。

但现有真空泵有如下的缺点：1．转子的偏心很大，在高转速下有较大的离心力；2．转子每旋转一周，吸排气各一次，排气口气体的冲击大，噪声高；3．转子的型线不是圆滑过渡，加工的成本较高，效率低下；4．排气口的消音器不合理，效果差；5．排气口没有设计放空阀，抽可凝性气体在泵停机时易造成液体反流。

本发明的目的是提供一种干式真空泵及其转子，采用对称的转子形状结构，有效地提高了真空泵转子的动平衡性能，有效降低了泵的运转噪声。

本发明的目的是这样实现的：

一种干式真空泵转子，转子形状为其截面有外凸爪和内凹弧槽的圆柱体，其外凸爪两侧面为摆线，顶圆为圆弧，内凹弧槽两侧面为摆线，槽底为圆弧，由两个转子组成转子对，相互同步反方向运转，转子对间和转子与泵腔间均有一定的微小间隙，转子的形状为对称结构，每个转子设有两个或多个外凸爪和相等数量的内凹弧槽。外凸爪圆弧半径为转子半径的1.4至1.6倍，内凹弧槽圆弧半径为转子直径与外凸爪圆弧半径之差，圆弧与摆线相交处平滑过渡。

一种干式真空泵，转子形状为其截面有外凸爪和内凹弧槽的圆柱体，其外凸爪两侧面为摆线，顶圆为圆弧，内凹弧槽两侧面为摆线，槽底为圆弧，由两个转子组成转子对，相互同步反方向运转，转子对间和转子与泵腔间均有一定的微小间隙，转子的形状为对称结构，每个转子设有两个或多个外凸爪和相等数量的内凹弧槽；进气口、排气口圆弧弧长占整个圆周的40至60度，转子每旋转一周吸排气两次。

吸气口泵腔内的转子转至外凸爪末端至转子轴心的连线与两转子轴心连线夹角为-22至-24度位置，吸气结束；排气口泵腔内的转子转至外凸爪前端至转子轴心的连线与两转子轴心连线夹角为16至18度位置，开始排气。转子对间的间隙为转子半径的0.0010至0.0014倍，外凸爪与泵腔的间隙为1.1至1.5倍转子对间间隙，转子排气侧面与泵腔的间隙为1.0至1.4倍转子对间间隙，转子进气侧面与泵腔的间隙为1.5至2.8倍转子对间间隙。各级泵腔均设计有气镇口，气镇口位置在0.75至0.85倍的转子半径上，并与两转子轴心连线的夹角为20至60度。转子和轴的连接采用双键连接结构，转子轴孔上设有对称的双键，轴上设有通长的双键槽，上一级转子键的位置与下一级转子键的位置相差90度。泵的排气口还设计有消音器和放空阀，消音器包括左接管，压力弹簧，调整垫，双头螺柱，右接管，垫片一，氟橡胶板，中间板，垫片二；当内腔的压强大于外腔的压强达到一定值时，气体通过垫片一压缩压力弹簧迫使其向外腔方向屈服，气体便通过垫片一和中间板间的缝隙排出，排出的次数和泵的排气次数一样，流量由泵内腔内的压强决定的；气体排出后，内腔的压强降低，则垫片一在弹簧的压力下，快速复位。

本发明有以下优点和积极效果：

如采用双爪转子，转子每旋转一周各吸排气两次，使泵的吸排气次数增加，单次吸排气量减少，降低了泵的运转噪声。如采用四级泵能达到极限真空度接近3Pa。本发明可以广泛应用于航天，化工，核工业等环境。可以解决我国特殊行业中用于抽含有腐蚀性如HF,H₂SO₄,HNO₃,HCL气体，水蒸汽等可凝性气体，放射性气体。可以做成多级泵，也可以设计成单级等。它还可以用于做气体传输泵使用。

图1为本发明实施例的主视图；

图2为本发明实施例的俯视图；

图3为本发明实施例的左视图；

图4为本发明实施例的消音器的总图；

图5为本发明实施例的转子型线图；

图6-图10为本发明实施例的工作原理图。

下面结合附图和实施例详细说明本发明。

本发明各部件名称及附图标记如下：