[发明专利]在基于事件的测试系统上用于存储器测试的模块化结构

说明书

本发明涉及一种基于事件的测试系统，用于测试半导体器件，更具体地说，是涉及一种基于事件的测试系统，该系统具有模块化结构并用于测试多个半导体器件，包括存储器和逻辑器件。该基于事件的测试系统检测嵌入式存储器和独立存储器中的功能故障及物理故障。

半导体存储器被认为是数字逻辑系统设计(例如计算机和基于微处理器的应用装置)中最重要的微电子元件。特别是，嵌入式存储器成为目前的IC中的关键构件。这些嵌入式存储器实现寄存器文件、先进先出(FIFOs)、数据超高速缓冲寄存器、指令超高速缓冲寄存器、发送/接收缓冲器、为纹理处理的存储等。在当前，嵌入式存储器和独立存储器都是采用基于周期的测试模式进行测试的，这种测试模式由LSI测试器的ALPG(算法模式产生器)单元产生的。目前似乎还没有一种有效的方法是采用基于事件的向量来测试存储器件。本发明的目标就是一种在事件环境中进行存储器测试的方法。该方法可应用于独立存储器和嵌入式存储器。

在一个基于事件的测试系统中，采用了事件的概念，事件就是在用于测试半导体器件的信号中任何逻辑状态的变化。例如，这种变化是测试信号的上升边沿和下降边沿，或是选通信号的时序边沿。事件的时序是根据自一基准时间点起的时间长度而定义的。一种典型的基准时间点是前一事件的时序(时间增量)。另一种选择是，这种时间基准点是一个对所有事件共有的固定起始时间(绝对时间)。

在一个基于事件的测试系统中，由于时序存储器(事件存储器)中的时序数据并不需要包括与每一个测试周期内之波形、向量、延迟等相关的复杂信息，可以显著地简化该时序数据的描述。在该基于事件的测试系统中，如上所述，存储在事件存储器中的每一事件的时序(事件)数据是由当前事件与最近事件间的时间差来表示。由于这种邻近事件的时间差(时间增量)很小，与自一个固定起始点起的时间差(绝对时间)不同，在该存储器中的数据长度也可以是很小，导致减少了存储容量。

在IC设计期间，设计者建立存储器件(例如嵌入式存储器)的RTL(寄存器传送级)模型。这些模型是用高级描述语言(HDL)编写成的，例如Verilog或VHDL(超高速集成电路硬件描述语言)。采用这些模型，设计者设计出Verilog/VHDL仿真测试台。这些仿真测试台中的基本方法是进行逐个周期存储器读/写操作，以确保进出存储器的来往数据是有效的。这些被称为功能测试台。在功能测试台中的测试向量是采用事件格式，利用美国专利申请第09/340371号和第09/406300号中所述的基于事件的测试系统，可以被用于执行功能测试，这两项申请属于与本发明相同的受让人。

这些功能测试向量根据进出被测存储器的来往数据之有效性检测功能故障。这些测试向量尚未被用于检测物理故障(例如存储单元固定型故障、两个单元的连接、线间跨接、模式敏感故障等)，并因此不检测存储器中的物理故障。出现这种故障时，进出被测存储器的来往数据可能仍是有效的，但数据本身可能是错误的。因此，测试物理故障是必需的。

其次，如果是在例如上述之美国专利申请的基于事件的测试系统上完成对于存储器的功能测试，那么在事件环境中测试存储器也是自然的及成本一效能合算的。因此，需要一种方法以产生事件格式的存储器测试向量，并将这些构成事件的向量应用于该存储器。

因此，本发明的目的是提供一种基于事件的半导体测试系统，它产生事件格式的存储器测试向量用于测试存储器件，例如嵌入式存储器和(或)独立存储器。

本发明的另一目的是提供一种基于事件的测试系统，它通过产生事件格式的存储器测试向量并采用周期格式的算法测试模式，检测被测存储器件中的功能故障和物理故障。

本发明的又一目的是提供一种基于事件的测试系统，它具有模块化结构，用于并行执行两个或多个不同的测试，其中至少有一个是存储器测试。

本发明的又一目的是提供一种基于事件的测试系统，它具有模块化结构，其中的两个或多个测试器模块(引脚单元组)相互独立工作，用于同时并行执行两个或多个不同或相同的存储器测试。