[发明专利]激光调整方法及其装置

权利要求书

1．一种电阻的激光调整方法，包括如下步骤：

以间歇方式对所述电阻进行激光脉冲照射，在所述激光脉冲照射的位置相对于所述电阻移动的同时，对所述电阻进行调整；

对所述电阻的调整包括测量所述电阻阻值的步骤；

在进行调整时，根据最终目标值与所述电阻阻值的测量值之间的差值，并根据最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量，确定激光脉冲照射之间的暂停时间。

2．如权利要求1所述的激光调整方法，其中激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于所述电阻移动，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，在所述电阻阻值的最终目标值与激光调整过程中的电阻值测量值之间的差值被定义为ΔRfm，由一个激光脉冲照射所产生的电阻值测量值的变化量被定义为ΔR，暂停时间的初始设定值被定义为T的情况下，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被定义为T，当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定： Tend = ΔRfm ΔR × T ]]>

3．如权利要求1所述的调整方法，其中所述激光脉冲为Q开关激光脉冲。

4．一种激光调整装置，包括：

激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；

光学系统控制装置，用于控制所述激光脉冲的路径；

测量装置，用于测量工件上的电阻的阻值；

操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、所述光学系统控制装置、测量装置；

计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻值的变化量，并根据所述电阻值的变化量确定所述激光脉冲照射期间之间的暂停时间。

5．一种激光调整装置，包括：

激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；

传送装置，用于装载一个工件，并控制所述工件的位置；

测量装置，用于位于工件上的电阻的阻值；

操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、传送装置、测量装置；

计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻阻值的变化量，并根据所述电阻阻值的变化量确定激光脉冲照射之间的暂停时间。

6．如权利要求4所述的激光调整装置，其中

激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于电阻移动，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，在所述电阻值的最终目标值与激光调整过程中电阻值的测量值之间的差值被定义为ΔRfm、由一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量被定义为ΔR、暂停时间的初始设定值被定义为T的情况下，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被定义为T，当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定： Tend = ΔRfm ΔR × T ]]>

7．如权利要求4所述的激光调整装置，其中所述激光脉冲为Q开关激光脉冲。