[发明专利]光盘的生产方法无效
| 申请号： | 01116918.4 | 申请日： | 2001-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1338739A | 公开（公告）日： | 2002-03-06 |
| 发明（设计）人： | 胜村昌广;饭田哲哉;上野崇 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司;株式会社古屋金属 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光盘 生产 方法 | ||
1.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Ru元素，Ni元素作为主要组成部分，Ru元素以重量计小于25％。
2.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Cu元素，Ni元素作为主要组成部分，Cu元素以重量计小于25％。
3.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和P元素，Ni元素作为主要组成部分，P元素以重量计小于25％。
4.一种生产光盘的方法，包括下列步骤：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Mg元素，Ni元素作为主要组成部分，Mg元素以重量计小于25％。
5.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Cr元素，Ni元素作为主要组成部分，Cr元素以重量计小于25％。
6.一种生产光盘的方法，包括下列工序：÷
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Au元素，Ni元素作为主要组成部分，Au元素以重量计小于25％。
7.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Si元素，Ni元素作为主要组成部分，Si元素以重量计小于25％。
8.一种生产光盘的方法，包括下列工序：
在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；
用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；
在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；
通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和
用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；
其中，电极(3)包含Ni元素和Ti元素，Ni元素作为主要组成部分，Ti元素以重量计小于50％。
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