[发明专利]研磨方法和设备及该方法和设备所使用的研磨用载体有效
| 申请号： | 01117898.1 | 申请日： | 2001-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1162253C | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 野沟修;那须野宪二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 设备 使用 载体 | ||
【说明书】：
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