[发明专利]物理化学的电子束抛光方法

权利要求书

1.一种物理化学的电子束抛光方法，其包含：

一电解液槽，用以容置电解液及抛光元件；

一温度控制装置；

一电压控制装置，其中包含一电极装置，一气封产生装置，为与上述电极装置连接的导电线；其制造过程包含如下步骤：

(A)根据不同的待抛物调配不同浓度的电解液，电解液浓度为1-10％，以使电解溶液的浓度不致太稀影响其效率，以避免过浓伤害待抛物的品质，使金属易产生蚀刻而削减机制表面的亮度光泽，

(B)调整温度至70-90℃，以避免温度太低损及气封的稳定性且使过程有大幅的电流及电压波动；过高时因升高电解质作用使机制品质受损、并影响气封及电解液之间的热平衡，

(C)调整电压至240-380V，过高电压易造成制品及电解液间隙的崩溃造成冲蚀，若电压太低则制品四周气封的稳定性受损。

2.根据权利要求1所述的物理化学的电子束抛光方法，其中在电解液内加入浓度为0.5-3％的氯化铵、硫氰铵，可延长氯化铵、硫氰铵电解液寿命50-100％。