[发明专利]一种无磷缓蚀剂及其制备

权利要求书

1.一种无磷缓蚀剂，具有以下结构：其中n为1～10整数或分数；R₁选自H，CH₃-，CH₃-CH₂-，HO-CH₂-CH₂-

和H₂N-CH₂-CH₂-；R₂为C₇～C₁₅的烷基；R₃是H或

2.按照权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，n为2～8的整数或分数。

3.按照权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，R₂为C₉～C₁₃的烷基。

4.权利要求1所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于包括以下步骤：1)使聚乙二醇与氯化亚砜在30～120℃反应5～48小时，得中间体I；2)使中间体I与选自液氨、甲胺、乙胺、乙醇胺和乙二胺的化合物在20～100℃下反应12～72小时，得中间体II；3)使C₈～C₁₆脂肪酸与氯化亚砜在60～100℃下反应2～8小时，得中间体III；4)将中间体II和中间体III混合，在20～200℃下反应2～24小时，得终产物。

5.按照权利要求4所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，步骤1)在60～100℃下反应8～24小时。

6.按照权利要求4所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，步骤2)中，反应物为液氨时，反应温度为60～100℃；反应物为甲胺、乙胺、乙醇胺或乙二胺时，反应温度为30～60℃。

7.按照权利要求4所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，步骤4)反应温度为80～150℃。

8.按照权利要求4所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，所说聚乙二醇的分子量为100～800。

9.按照权利要求8所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，所说聚乙二醇的分子量为150～400。

10.按照权利要求4所述的无磷缓蚀剂的制备，其特征在于，所说脂肪酸选自C₁₀～C₁₄脂肪酸。