[发明专利]测量镜片成像质量的装置和方法有效

专利信息
申请号: 01118574.0 申请日: 2001-06-01
公开(公告)号: CN1389716A 公开(公告)日: 2003-01-08
发明(设计)人: 黄国亮;程京;周玉祥;冯继宏;吴浩扬;刘诚迅 申请(专利权)人: 清华大学;北京博奥生物芯片有限责任公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蹇炜
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测量 镜片 成像 质量 装置 方法
【权利要求书】:

1、一种测量镜片成像质量的装置,包括:

一个激光源,用于产生激光束并射向镜片;

一个光敏探测装置,用于将所接收的光信号转换为电信号;

一个显微物镜,用于将激光束经所测镜片聚焦后的焦斑成像在该光敏探测装置上;

一台计算机,用于对光敏探测装置输出的有关聚焦焦斑成像的信号进行处理,并通过分析该信号而检测出镜片的成像质量;

其中,光敏检测装置与计算机连接,激光源、被测镜片、光敏检测装置和显微物镜设置在一个光路上,显微物镜设置在光敏检测装置与被测镜片之间。

2、根据权利要求1所述的装置,其中,在被测镜片与显微物镜之间设有一个标尺刻画板,该标尺刻画板为采用透明材料制成的平板并画有标尺刻画线,该标尺刻画板上的标尺刻画线所在平面与被测镜片的焦平面重合。

3、根据权利要求1或2所述的装置,其中,在激光源与被测镜片之间设置一个光强衰减器,用于衰减激光束以达到合适的强度。

4、根据权利要求1或2所述的装置,其中,在显微物镜与光敏探测装置之间设置一个可调整的转接件,其长度可调整,用于使激光束聚焦后的焦斑清晰地成像在光敏探测装置上。

5、根据权利要求1所述的装置,其中,该光敏检测装置由电荷耦合器件组成。

6、根据权利要求1或2所述的装置,其中,在标尺刻画板附近设有用于照亮标尺刻画线的照明光源。

7、一种测量镜片成像质量的方法,包括以下步骤:

(1)以具有适当光强的激光束照射在被测镜片上;

(2)由一个光敏检测装置检测经被测镜片聚焦后的焦斑成像,将与该焦斑相关的光信号转换为电信号,并送至一台计算机;

(3)由该计算机对该信号进行处理及分析,检测出镜片的成像质量。

8、根据权利要求7所述的方法,其中,在经被测镜片聚焦后的焦斑成像上叠加标尺刻画线。

9、根据权利要求7或8所述的方法,其中,采用一个显微物镜将所述激光束聚焦后的焦斑及标尺刻画线放大并清晰成像在光敏探测装置上。

10、根据权利要求7所述的方法,其中,调整经被测镜头的激光束的强度,使得光敏检测装置中的光敏器件象元所接收的光强是不饱和的。

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