[发明专利]卷材输送装置以及利用卷材输送装置进行电镀的装置和方法

说明书

本发明涉及一种输送装置，用来输送一种卷材(长条基质)，该卷材用作其上形成有功能薄膜的元件或部件，其中卷材卷绕成线圈的形式并在该装置中得到加工。明确地说，本发明涉及一种卷材输送装置，其中，当线圈形式的卷材为用于薄膜沉积而被打开然后再重绕成线圈形式时，卷材的边缘处没有伸展或皱纹出现，并且卷材沿着其预定路径输送而不变形，然后卷绕成边缘校准的线圈形式。本发明还涉及一种采用这样的卷材输送装置进行电镀的电镀装置和电镀方法。

当薄膜连续叠加到作为基底的金属片上时，例如该金属片为一钢片或一不锈钢片，在其上可形成太阳电池，通过使卷材绕到绕线轴上呈线圈或卷的形式，在解开线圈用来传送时对其进行叠加沉积加工，并且将卷材重绕成线圈的形式，从而可在商业中有效的生产卷材。不过，为了实现这样的机构，重要的一点在于：卷材在叠加沉积加工中被输送时不弯曲，以及在卷绕时不出现未对准的情况。特别地，当松开的卷材较长时，即便非常小的输送偏移也会导致卷绕部分处出现较大的未对准情况。而且在卷材是弹性变形范围非常小的金属的情况下，校正曾出现未对准的卷材也是困难的。

USP4,485,125(发明名称为“Method for continuously producing tandemamorphous photovoltaic cells”,Energy Conversion Devices,1984.11.27)披露了本发明所涉及的、并在其中不会发生卷材未对准情况的输送系统。在这一发明中(参见USP4,485,125中的图9)，卷材的偏移是通过采用一个光学挡光边缘检测器来检测的，并且输出信号被反馈到一个伺服马达，而且该伺服马达的输出通过一个连接机构传递到一齿轮上，该齿轮设置在一其轴偏心的辊子的一端面上，从而该辊子的轴倾斜，并且在该辊子一侧施加到卷材上的张力是相对于该辊子另一侧的张力而变化的，以便于在轴向上移动卷材。

USP4,664,951(发明名称为“Method provided for corrective lateraldisplacement of a longitudinally moving web held in a planarconfiguration”,Energy Conversion Devices,1987.5.12)提出采用一个磁辊来防止卷材翘曲或变形，从而防止卷材摆动并使输送路径不发生偏移。

日本专利申请特许公开号5-270710(发明名称为“meandering correctionmechanism for web”，申请人为Toppan Printing有限公司，特许公开日为1993.10.19)公开了一种这样的机构，其中卷材的弯曲是通过改变一导向辊的方向或轴向移动该辊来校正的(本发明中的术语“辊子”与上述现有技术实例等中提到的“辊”具有相同的含义)。实际上，此发明意图将改变导向辊的方向和轴向移动该辊结合起来，这样做容易实现粗略的弯曲校正，但不容易实现精细的弯曲校正，这是因为当弯曲量大时，如果仅改变导向辊的方向，那么就会出现皱纹并且也不能进行弯曲校正。

日本专利申请特许公开号6-239508(发明名称为“controlling apparatusfor web travel”,Shin-Oji paper，特许公开日为1994.8.30)公开了一种将固定辊与移动辊组合起来的弯曲校正机构。此发明旨在当在移动辊上校正弯曲的卷材时，各移动辊之间的相对定位是通过一个按压接触力调整机构来实现的，其中移动辊使固定辊间的卷材返回。

而且，日本专利申请特许公开号10-296317(发明名称为“a metal stripconveying apparatus”，申请人为Nippon Steel，特许公开日为1998.11.10)描述了这样一种方法，即将一个自由活套、一个压紧辊和一个凸面轧辊组合起来，防止成锯齿形的运动。

作为一项相关技术，日本专利申请特许公开号8-197124(一种控制金属板作锯齿形运动的方法)公开了一种这样的系统，即形成悬垂线并从两端悬垂位置的差别判断出锯齿量，以便通过使辊子的轴线倾斜而调整该锯齿量。通常为了在输送金属板和类似板材时调整速度，要可靠地形成悬垂线。