[发明专利]研磨方法和研磨装置

权利要求书

1．一种工件研磨方法，其特征在于包括以下步骤：

第一步是间断地对工件进行研磨；以及

第二步是对工件连续进行研磨。

2．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于第一步以较低转矩和较低速度间断地对工件进行研磨，第二步以较高转矩和较高速度对工件连续进行研磨。

3．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于完成对工件连续进行研磨的第二步从而使角度范围从较小范围逐渐扩张到较大范围。

4．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于在施加到工件上的压力小于连续研磨工件的第二步期间的压力的状态下，完成第一步间断研磨。

5．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于手工完成间断地对工件进行研磨的第一步。

6．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于利用研磨装置自动完成间断地对工件进行研磨的第一步。

7．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于在大约20秒完成间断地对工件进行研磨的第一步。

8．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于在研磨的第一和第二步期间，将研磨液供应在工件上。

9．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于研磨液包括构成约7％研磨液的研磨颗粒。

10．如权利要求1所述的研磨方法，其特征在于工件包含压电体、介电体、绝缘陶瓷板和晶体之一。

11．一种研磨工件的研磨装置，其特征在于包括：

能够保持若干工件的行星齿轮状传送器；

与传送器啮合的中心齿轮；

与传送器啮合的环形齿轮；

位于传送器上部分和下部分的研磨表面平板；

驱动传送器并且转动中心齿轮和环形齿轮至少一个的电动机；

第一控制器，安排为控制电动机完成第一阶驱动，从而以较低的转矩间断驱动电动机；

第二控制器，安排为在完成较低转矩下的间断驱动之后完成第二阶驱动，从而以较高转矩连续驱动电动机；以及

在完成第一阶驱动的第一控制器与完成第二阶驱动的第二控制器之间切换的开关。

12．如权利要求11所述的研磨装置，其特征在于进一步包括研磨液涂敷装置，安排为在间断和连续研磨过程中供应研磨液。

13．如权利要求11所述的研磨装置，其特征在于第一和第二控制器每个都包括逆变器，用于控制电动机的频率和速度。

14．如权利要求11所述的研磨装置，其特征在于提供转矩传感器并且安排为检测电动机施加在所连接转轴上的转矩。

15．如权利要求14所述的研磨装置，其特征在于转矩传感器安排为向第一和第二控制器中的至少一个发送转矩信号并且当驱动转轴转矩超过预定值时通过暂停电动机操作停止间断研磨操作。

16．一种研磨工件的研磨装置，其特征在于包括：

能够保持若干工件的行星齿轮状传送器；

与传送器啮合的中心齿轮；

与传送器啮合的环形齿轮；

位于传送器上部分和下部分的研磨表面平板；

驱动传送器并且转动中心齿轮和环形齿轮中的至少一个的电动机；

低转矩电动机；

高转矩电动机；

低转矩驱动电路，安排为经低转矩电动机完成中心齿轮和环形齿轮中的至少一个的间断驱动；

高转矩驱动电路，安排为在完成间断驱动之后经高转矩电动机完成中心齿轮和环形齿轮中的至少一个的连续驱动；以及

在低转矩驱动电路与高转矩驱动电路之间切换的开关。

17．如权利要求16所述的研磨装置，其特征在于进一步包括研磨液供应装置，安排为在间断和连续研磨过程中供应研磨液。

18．如权利要求16所述的研磨装置，其特征在于低转矩电动机具有第一驱动转轴和固定在第一驱动转轴上的第一电磁离合器，高转矩电动机具有第二驱动转轴和固定在第二驱动转轴上的第二电磁离合器，并且开关安排为主动地啮合和分离第一和第二离合器以使间断驱动变化至连续驱动。

19．如权利要求18所述的研磨转轴，其特征在于如果第一转轴的转矩超过预先设定的数值则停止低转矩电动机。