[发明专利]被研磨物保持材料及其制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于用平面研磨装置研磨加工半导体晶片、硬盘用铝盘或玻璃盘、液晶显示用玻璃基板以及由盘状陶瓷等构成的盘状被研磨物时，用于保持被研磨物的被研磨物保持材料及其制造方法。

背景技术

在使用研磨机等平面研磨装置研磨加工半导体晶片、硬盘用铝盘或玻璃盘、液晶显示用玻璃基板以及由盘状陶瓷等构成的盘状被研磨物时，通常使用图11所示的被研磨物保持材料来保持该被研磨物。被研磨物保持材料30具有几个至几十个用于保持被研磨物31的被研磨物保持孔32，同时，在其外周上具有与平面研磨装置的中心齿轮和内齿轮啮合的齿33。

作为被研磨物保持材料，目前已知的例如有由SK钢或不锈钢等金属板构成的金属制保持材料、在金属制保持材料的表面上施以树脂涂层的保持材料(日本第4349/1983号实用新型专利申请公开公报)、在碳纤维中浸渗树脂的叠层板保持材料(日本第143954/1983号发明专利申请公开公报)等。由金属板构成的金属制被研磨物保持材料，与后来研制的由树脂板构成的被研磨物保持材料相比，研磨耐久性具有10倍以上的寿命，但是，在被研磨物保持孔处，由于金属与被研磨物接触，被研磨物上有时会产生裂纹或碎片等损伤，导致研磨物的原材料利用合格率大幅度降低。

作为防止上述被研磨物的裂纹和碎片的对策，有人提出了沿着被研磨物保持孔的内周形成树脂部，该被研磨物保持材料是采用下述方法形成的，即切削加工与金属板同样厚度的树脂板，将其嵌入被研磨物保持孔的内周，用粘结剂将金属与树脂的接触面固定住。这种被研磨物保持材料，虽然在被研磨物上不会产生裂纹或碎片等损伤，但缺乏粘结可靠性，树脂容易从粘结部分上脱落。另外，由于制造工序多而复杂，生产率低，成本增大，因而目前还没有能够普及。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种被研磨物保持材料的制造方法以及被研磨物保持材料，在由金属板构成的被研磨物保持材料的保持孔的内周部形成树脂部时，生产率高，生产成本低，并且即使不使用粘结剂等，树脂也不会从粘结部分上脱落。

鉴于上述情况，本发明人进行了深入的研究，结果发现，采用下述方法可以以高的生产率和低的生产成本制造被研磨物保持材料，并且树脂或树脂叠层成形物不会从粘结部分上脱落下来，即，制备已加工出用于保持被研磨物的贯通孔的金属板，在该贯通孔的周边部的一部分或全部上开坡口，随后，在该贯通孔的坡口部分和贯通部分上用树脂注塑成形，或者在该贯通孔的内侧表面上设置多个贯通的切槽，在由该贯通的切槽形成的突出部的一部分或全部上开坡口，或者在该突出部的顶端侧的表面上形成凹凸状，然后，在该贯通孔的贯通切槽部分和贯通部分上用树脂注塑成形，或者将预浸树脂布叠层成形，加热加压压制，在被加工的贯通孔上形成树脂或树脂叠层成形物，然后，在该贯通孔的内周部上留出必要量的树脂部，将其余部分切削除去。基于上述发现完成了本发明。

即，本发明(1)提供了被研磨物保持材料，该被研磨物保持材料是在已加工了用于保持被研磨物的贯通孔的金属板上，在贯通孔的周边部的一部分或全部上开坡口，用树脂或树脂叠层成形物被覆该周边部和内周部而形成的。

本发明(2)提供了被研磨物保持材料，该被研磨物保持材料是在已加工了用于保持被研磨物的贯通孔的金属板上，在贯通孔的内表面上设置多个贯通的切槽，在由该贯通的切槽形成的突出部的一部分或全部上开坡口，或者在该突出部的顶端侧的表面上形成凹凸状，用树脂或树脂叠层成形物被覆该贯通孔的周边部和内周部而形成的。

本发明(3)提供了被研磨物保持材料的制造方法，将具有用于保持被研磨物的贯通孔并且在该贯通孔的周边部的一部分或全部上开坡口的金属板安装到成形金属模上，在包括该坡口部的贯通孔部分上用树脂注塑成形，然后在该贯通孔的内周部上留出必要量的树脂部，将该贯通孔上成形的树脂切削出去，形成被研磨物保持孔。

本发明(4)提供了被研磨物保持材料的制造方法，将具有用于保持被研磨物的贯通孔、在该贯通孔的内表面上设置多个贯通的切槽、在由该贯通的切槽形成的突出部的一部分或全部上开坡口、或者在该突出部的顶端侧的表面上形成凹凸状的金属板安装到成形金属模上，在包含该贯通的切槽部的贯通孔部分上用树脂注塑成形，然后在该贯通孔的内周部上留出必要量的树脂部，将贯通孔上成形的树脂切削除去，形成被研磨物保持孔。