[发明专利]静电机械驱动液体测微装置

权利要求书

1.一种静电驱动液体测微装置，它包括：一个具有与腔室宽相关的密集度的腔室；和至少一个由静电可变形、有长度和高度的膜片构成的腔壁，其特征在于，腔室密集度与膜片的长度与高度无关。

2.按权利要求1所述的装置，其特征在于，腔室密集度为最低约50微米。

3.按权利要求1所述的装置，其特征在于，腔室密集度为最低约25微米。

4.按权利要求1所述的装置，其特征在于，众多腔室排列成一个阵列。

5.按权利要求1所述的装置，其特征在于，第一和第二腔壁有一个静电可应变膜片，并且第一腔壁与第二腔壁是相对放置的。

6.按权利要求1所述的装置，其特征在于，电极放置在至少与一个腔壁隔开并相邻的位置，电极处于腔室的对面，并且其特征是，电极和至少一个腔壁之间界定了一个静电间隙。

7.按权利要求5所述的装置，进一步包括一个带有电极与腔壁的基底整体，基底形成腔的底壁，其特征在于，基底、腔壁和电极都是在单个基片上形成的。

8.按权利要求5所述的装置，其特征在于，众多腔室排列成一个阵列，并且电极静电驱动第一腔室的第一膜片和第二相邻腔室的第二膜片。

9.按权利要求5所述的装置，进一步包括在腔壁中的一个小孔，使作用在静电间隙两端和电极与至少一个腔壁间的静电力造成膜片的变形，因而使腔中的液体通过小孔喷出。

10.一种静电驱动液体测微装置，它包括：一个具有与沿腔室横轴的腔宽相关的密集度的腔室；和

至少一个包括具有应变轴的静电可应变膜片的腔壁，其特征在于，膜片的应变轴大体上与腔的横轴平行。