[发明专利]曝光设备的光学元件保持装置

权利要求书

1.一种光学元件保持装置，其包括第1保持部(44，44a)，该第1保持部保持第1光学元件(38，38a)的周边部；

连接部(44b)，该连接部与上述第1保持部连接；

驱动机构(50，60，61)，该驱动机构设置于上述连接部上，通过使上述第1保持部和上述连接部作相对移动，使上述第1光学元件移动。

2.根据权利要求1所述的光学元件保持装置，其特征在于其还包括第2保持部(44b)，该第2保持部设置于上述连接部上，保持第2光学元件(38b)。

3.根据权利要求1或2所述的光学元件保持装置，其特征在于其还包括：检测装置(72)，该检测装置检测上述第1光学元件的移动量(dY)；

隔热部件(75)，该隔热部件设置于上述第1光学元件和上述第2光学元件中的至少1个，与上述检测装置之间。

4.根据权利要求3所述的光学元件保持装置，其特征在于上述检测装置检测第1保持部相对上述连接部的位移量，根据该检测结果，计算上述第1光学元件的移动量。

5.根据权利要求3或4所述的光学元件保持装置，其特征在于上述检测装置包括被测定部，该被测定部安装于上述第1保持部上；测定头，该测定头安装于上述连接部上；

6.根据权利要求3～5中的任何一项所述的光学元件保持装置，其特征在于上述连接部具有外面，上述驱动机构为至少3个按照等角间距，设置于上述连接部的外面的机构中的一个。

7.根据权利要求6所述的光学元件保持装置，其特征在于上述检测装置为至少3个按照等角间距设置于上述连接部的外面的装置中的一个，各检测装置设置于上述驱动机构，与和该驱动机构邻接的驱动机构的中间。

8.根据权利要求1～7中的任何一项所述的光学元件保持装置，其特征在于上述连接部具有外周面，并且呈圆环状，上述驱动机构具有致动器(50)，该致动器按照下述方式设置，该方式为：相对上述连接部，上述致动器的位移方向沿上述连接部的外周面的连线方向。

9.根据权利要求8所述的光学元件保持装置，其特征在于其还包括旋转枢轴机构(54)，该旋转枢轴机构设置于上述致动器和上述连接部之间。

10．根据权利要求9所述的光学元件保持装置，其特征在于上述旋转枢轴机构包括缺口弹簧(63，64，65h)，其沿与上述光学元件交叉的方向，以在连接部中形成缺口的方式形成。

11．根据权利要求9或10所述的光学元件保持装置，其特征在于上述连接部具有开口部(49)，该开口部以在上述连接部中形成缺口的方式形成，上述致动器接纳于上述开口部中。

12.根据权利要求11所述的光学元件保持装置，其特征在于上述致动器包括压电元件。

13.根据权利要求1～7中的任何一项所述的光学元件保持装置，其特征在于上述驱动机构包括致动器(50)，将上述致动器的位移量传递给第1保持部的第1连杆机构(60)，沿规定方向对上述第1保持部和上述连接部的相对移动进行导向的第2连杆机构(61)，上述第1保持部通过上述第1连杆机构和第2连杆机构，与上述连接部连接。

14.根据权利要求13所述的光学元件保持装置，其特征在于在上述致动器的位移方向和上述光学元件的移动方向不同的场合，上述第1连杆机构将上述致动器的位移方向转换，以便与上述光学元件的移动方向保持一致。

15.根据权利要求13或14所述的光学元件保持装置，其特征在于上述第1连杆机构包括对上述致动器的位移量进行放大的位移放大机构。

16.根据权利要求15所述的光学元件保持装置，其特征在于上述第1连杆机构包括缺口弹簧，该缺口弹簧按照沿与上述光学元件的交叉方向延伸的方式，在上述连接部中形成缺口而形成。

17.根据权利要求16所述的光学元件保持装置，其特征在于上述缺口弹簧包括弹性铰接连杆机构(62)，该机构是由沿与上述光学元件交叉的方向延伸的多个通孔，以及与上述多个通孔保持连续的多个槽划分形成的。