[发明专利]压电谐振器、压电元件和压电谐振器的制造方法

说明书

发明背景

1.发明领域

本发明涉及用于例如鉴别器或陷波器等的压电谐振器，尤其涉及一种利用厚度方向滑移方法(thicknesswise slip mode)的能量陷入式(energy-traptype)压电谐振器及其制造方法。本发明还涉及使用该压电谐振器的压电元件。

2.相关技术的描述

目前，在例如利用厚度方向滑移方法的鉴别器或陷波器的压电元件中，压电谐振器安放在壳体的安放空间中，利用厚度方向滑移方法的能量陷入式压电谐振器的结构中，振动电极部分地形成在压电基板的两主面上，相互相向。为了在压电谐振器中设置诸如谐振特性、群延迟特征，或失真度等电特性所需特性值，广泛地使用一种对压电基板的两个主面设置由硅橡胶构成的阻尼构件的方法。在日本未审查的专利申请No.7-235853中揭示了这样的一个例子。

但是在传统的压电谐振器中，由于需要对压电基板的两个主面设置阻尼构件，因此，施加该阻尼构件的工序需要执行两次。出现的问题是使用这种压电谐振器的压电谐振器或压电谐振器构件的制造工序量增加，因此，其制造费用上升。

本发明概述

于是，本发明的目的在于提供一种低费用的压电谐振器，它易于制造且具有优良的电特性。本发明的再一目的提供一种所述压电谐振器的制造方法，以及使用该压电谐振器的压电元件。

按照本发明的第1方面，本发明提供一种利用厚度方向滑移方法的能量陷入式压电谐振器。该压电谐振器包含压电基板和至少一对振动电极，振动电极分别形成在所述压电基板的第1和第2主面上，且相互对置，构成振动部分。压电谐振器进一步包含：阻尼构件，它仅在压电谐振器的一个主面和一对连接其第1和第2主面的侧面覆盖所述振动部分。

在本发明的第1方面中，该阻尼构件最好用硅橡胶构成，在25℃具有20Pa·s或更低的粘度，在25℃具有流动性，通过加热固化成橡胶类状态。在本说明书中，粘度值按照JIS K6249确定的方法测得。

按照第2方面，本发明提供一种包含本发明压电谐振器的压电元件，该压电元件还包含相互结合的第1和第2壳体构件，其中，形成安放压电谐振器的安放空间。在该压电元件中，压电谐振器安装在第1和第2壳体构件之一上，使得压电振动部分的振动不受阻。

按照第3方面，本发明提供一种制造压电谐振器的方法。该方法包含：准备利用厚度方向滑移的能量陷入式压电谐振器的步骤，其中，振动电极各形成在第1和第2主面上；和在压电谐振器的一个主面侧施加阻尼构件并将该阻尼构件设置成仅在一个主面和两侧面上覆盖振动部分的步骤。

在本发明的第3方面中，施加阻尼构件是通过使用喷嘴(nozzle)或传输针(transfer pin)进行的。当在阻尼构件从喷嘴或传输针末端下垂的部分压电基板宽度方向的尺寸为W、而喷嘴的外径或传输针的直径为D时，使用的喷嘴或传输针最好满足关系D≥W。

在本发明第3方面中，当阻尼构件从喷嘴或传输针末端下垂的部分的下端与施加压电基板阻尼构件的主面侧相反的主面间的距离为A、而压电基板的厚度为t时，阻尼构件的设置最好满足关系0≤A≤t。

下面将结合附图详细描述本发明的较佳实施例，从其可清楚地看到本发明的上述和其它目的、特征和优点。

附图概述

图1为示出本发明一实施例的压电元件的立体透视图；

图2A为示出本发明一实施例的压电元件的垂直剖面图，图2B为沿图2A中B-B线的纵剖面图；

图3为示出本发明一实施例中使用分配器设置阻尼构件工序的垂直剖面图；

图4为示出阻尼构件从分配器喷嘴末端下垂的局剖平面视图；

图5A为示出压电基板与阻尼构件下垂部分之间关系的概示图，图5B为示出压电基板覆盖上时阻尼构件下垂部分与压电基板厚度间关系的视图；

图6为示出使用传输针时传输针末端与压电基板宽度方向尺寸间关系的原理图；

图7为示出按本发明一实施例形成的鉴别器的阻抗特性和相位特性的曲线图；

图8为示出为比较作准备的压电元件的立体透视图；

图9为示出为比较作准备的鉴别器的阻抗特性和相位特性的曲线图。

较佳实施例的说明

图1为说明本发明一实施例的压电元件的立体透视图。在压电元件1中，作为第1壳体构件的壳体板2和作为第2壳体构件的帽3构成组装。

壳体板2由例如氧化铝的绝缘陶瓷或例如合成树脂的适当导电材料构成。在壳体板2的顶面形成电极4和5。