[发明专利]抛光组合物和抛光方法无效
申请号: | 01121960.2 | 申请日: | 2001-06-20 |
公开(公告)号: | CN1329118A | 公开(公告)日: | 2002-01-02 |
发明(设计)人: | F·阿巴斯;P·欧;J·K·克纳普;L·刘 | 申请(专利权)人: | 普莱克斯S.T.技术有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 谭明胜 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 组合 方法 | ||
1、抛光浆,包括(重量百分数):大约0.1-50的金属羟基酸促进剂,所述金属羟基酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆,大约0.5-50的氧化铈磨蚀颗粒,其余为水。
2、权利要求1的抛光浆,其中所述金属具有至少VI价化合价。
3、用于抛光玻璃计算机磁盘的抛光浆,包括(重量百分数):大约0.5-10的金属羟基酸促进剂,所述金属羟基酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆,约2-25的氧化铈(IV)磨蚀颗粒,所述粒子的平均粒径为大约0.001-20μm,其余为水,并且所述抛光浆的pH至少为大约9。
4、权利要求3的抛光浆中,其中所述金属选自铬(VI)、锰(VII)、锰(VI)、钼(VI)、铼(VI)和钨(VI)。
5、权利要求3的抛光浆,其中所述金属羟基酸促进剂选自铬酸盐、锰酸盐、钼酸盐、高锰酸盐和钨酸盐。
6、权利要求3的抛光浆,其中所述金属氧化物是钨酸盐。
7、权利要求3的抛光浆,所述抛光浆含有大约0.1-10的硫酸盐稳定剂。
8、玻璃衬底的抛光方法,包括如下步骤:
a)、使玻璃表面与抛光浆接触,所述抛光浆含有(重量百分数):0.1-50%(重量)的金属羟基酸促进剂,所述金属羟基酸促进剂选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆,大约0.5-50的氧化铈磨蚀颗粒,其余为水;
b)用抛光板和所述抛光浆来抛光所述玻璃衬底以去除所述玻璃衬底表面。
9、权利要求8的抛光方法,其中所述金属羟基酸促进剂选自铬酸盐、锰酸盐、钼酸盐、高锰酸盐和钨酸盐。
10、权利要求8的抛光方法,其中所述金属羟基酸促进剂为钨酸盐。
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