[发明专利]加速度检测计

权利要求书

1.一种加速度检测计，它包括：

一包含一质量支撑架在内的机壳；和

一支撑在该支撑架上的质量；

一支撑装置，用来将该质量支撑在该支架上；

一转动检测装置，用来检测该质量相对于至少部分该支撑装置的转动；

一平移检测装置，用来检测该质量相对于至少部分该支撑装置的平移。

2.按照权利要求1所述的加速度检测计，它是用半导体材料做成的。

3.按照权利要求1或2所述的加速度检测计，它是用具有各向异性的材料做成的。

4.按照权利要求1—3中任一项所述的加速度检测计，它是用具有压敏特性的材料做成的。

5.按照权利要求1—4中任一项所述的加速度检测计，它是用硅做成的。

6.按照权利要求1—5中任一项所述的加速度检测计，它还包括一上机壳，其中，在使用时，由在该上机壳和该质量的上表面之间的适量液体或气体引起的机械阻尼可通过在该上机壳的表面或该质量的上表面上形成一凹进区来控制。

7.按照权利要求1—6中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：该质量是通过一对沿第一轴线排列的外弹性构件支撑在该支架上，该质量包括与一对外弹性构件相连的外质量和通过一些内弹性构件与该外质量相连的内质量，该内弹性构件是沿着一个或更多轴线排列的，这些轴线形成一个将该外弹性构件的轴线也可包含在内的平面。

8.按照权利要求7所述的加速度检测计，还包括用来检测由拉伸在该外弹性构件中所引起的应力的装置，这种拉伸是由该加速度检测计在该内弹性构件确定的平面内的一方向上加速时所产生的；和

用来检测在该内弹性构件中的弯曲应力的装置，该弯曲应力是由该加速度检测计在与该内弹性构件确定的平面垂直的方向上加速时所产生的。

9.按照权利要求8所述的加速度检测计，其特征在于：用来测定该内弹性构件上弯曲应力的装置在每个内弹性构件上都包括两个压敏电阻，在每个弹性构件的每一端上各安置一个。

10.按照权利要求6或8所述的加速度检测计，其特征在于：该内弹性构件的轴线和该外弹性构件的轴线相互基本成45°的夹角。

11.按照权利要求7—10中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：该内质量是由两对内弹性构件支撑的，这两对内弹性构件是这样安置的，使得该两对构件相互垂直，而且两对内弹性构件与该外弹性构件的轴线共处同一平面。

12.按照权利要求11所述的加速度检测计，其特征在于：用来检测内弹性构件中的弯曲应力的装置，在每个内弹性构件的一端上包括一压敏电阻。

13.按照权利要求11或12所述的加速度检测计，其特征在于：用来检测内弹性构件中的弯曲应力的装置被放置在一对或两对内弹性构件上，并在靠近该内质量或外质量的位置处。

14.按照权利要求1—13中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：用来检测扭应力的装置包括一由四个压敏电阻形成的惠斯通电桥，各压敏电阻都安置在该一个或基本沿一单一方向的多个外弹性构件上。

15.按照权利要求1—14中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：该外弹性构件中的一个比另一个长。

16.按照权利要求1—13中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：该检测弯曲和扭应力的装置是压电的。

17.按照权利要求1—8中任一项所述的加速度检测计，其特征在于：该转动和平移的检测可通过电容检测独立进行。