[发明专利]真空电弧蒸发源及使用它的薄膜形成装置

权利要求书

1.一种真空电弧蒸发源，它包括：

含有互不相同的种类的材料并且互相电绝缘的多个阴极，

其中所述多个阴极被真空电弧放电蒸发而由此产生具有阴极材料的等离子体。

2.权利要求1的真空电弧蒸发源，其特征在于：所述多个阴极是通过绝缘材料互相同轴地设置的。

3.权利要求1的真空电弧蒸发源，其特征在于：所述多个阴极包括具有含碳材料的阴极和具有含周期表中4A、5A或6A族金属的材料的阴极。

4.权利要求1的真空电弧蒸发源，其特征在于：所述多个阴极中的每个是圆形的。

5.一种用于在衬底的表面上形成包括多个异质薄膜的叠层薄膜的薄膜形成装置，所述装置包括：

具有包括互不相同的种类的材料并且互相电绝缘的多个阴极的真空电弧蒸发源，其中所述多个阴极被真空电弧放电蒸发而由此在所述阴极的表面上产生具有阴极材料的等离子体；

用于向所述真空电弧蒸发源的所述多个阴极提供真空电弧放电电力的电弧电源；和

用于将所述真空电弧蒸发源的所述电弧放电电力轮流地向所述电弧电源的所述多个阴极转换的开关。

6.一种用于在衬底的表面上形成包括多个异质薄膜的叠层薄膜的薄膜形成装置，所述装置包括：

具有包括互不相同的种类的材料并且互相电绝缘的多个阴极的真空电弧蒸发源，其中所述多个阴极被真空电弧放电所蒸发而由此在所述阴极的表面上产生具有阴极材料的等离子体；和

用于产生磁场而使所述真空电弧蒸发源产生的等离子体偏转、以便从所述等离子体中消除粗粒子、并把消除其粗粒子的所述等离子体引入所述衬底附近的磁性过滤器。

7.权利要求6的薄膜形成装置，其特征在于所述磁性过滤器包括：

弯曲的输送管道；

用于产生沿所述输送管道弯曲的所述磁场的磁性线圈；和

用于激励所述磁性线圈的直流电源。

8.权利要求6的薄膜形成装置，其特征在于还包括：

用于向所述真空电弧蒸发源的所述多个阴极提供电弧放电电力的电弧电源；和

用于将所述真空电弧蒸发源的所述电弧放电电力轮流地向所述电弧电源的所述多个阴极转换的开关。

9.权利要求8的薄膜形成装置，其特征在于所述磁性过滤器包括：

弯曲的输送管道；

用于形成沿所述输送管道弯曲的所述磁场的磁性线圈；和

用于激励所述磁性线圈的直流电源。

10.权利要求5的薄膜形成装置，其特征在于还包括：

用于控制所述真空电弧放电的电弧点的移动、靠近与产生所述等离子体的表面相对的所述阴极的另一表面而设置的磁体。

11.权利要求6的薄膜形成装置，其特征在于还包括：

用于控制所述真空电弧放电的电弧点的移动、靠近与产生所述等离子体的表面相对的所述阴极的另一表面而设置的磁体。