[发明专利]有机抗反射涂层聚合物、含该聚合物的抗反射涂层组合物及其制备方法无效
申请号: | 01123295.1 | 申请日: | 2001-06-30 |
公开(公告)号: | CN1331254A | 公开(公告)日: | 2002-01-16 |
发明(设计)人: | 洪圣恩;郑旼镐;郑载昌;李根守;白基镐 | 申请(专利权)人: | 海力士半导体有限公司 |
主分类号: | C08F20/10 | 分类号: | C08F20/10;C09D133/08 |
代理公司: | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人: | 黄益芬 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 反射 涂层 聚合物 组合 及其 制备 方法 | ||
1.具有下述式1结构的化合物:
式1其中
Ra-Rc各自是氢或甲基;
Ra-Rd和R1-R9各自是-H,-OH,-OCOCH3,-COOH,-CH2OH或具有1-5个碳原子的取代或未取代的、或直链或支化的烷基或烷氧烷基;
l,m和n各自表示选自1,2,3,4和5的整数;
x,y和z各自表示0.01-0.99的摩尔分数;
2.权利要求1的化合物,其是聚[丙烯酸蒽甲基亚胺乙基酯-(丙烯酸2-羟乙基酯)-甲基丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rb各自是氢,Rc表示甲基,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是2,2和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
3.权利要求1的化合物,其是聚[丙烯酸蒽甲基亚胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羟乙基酯)-甲基丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra是氢,Rb和Rc各自是甲基,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是2,2和1,和x,y和z各自是0.5.0.3和0.2。
4.权利要求1的化合物,其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亚胺乙基酯-(丙烯酸2-羟乙基酯)-甲基丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rc各自是甲基,Rb表示氢,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是2,2和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
5.权利要求1的化合物,其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亚胺乙基酯-(甲基丙烯酸2-羟乙基酯)-丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rb各自是甲基,Rc表示氢,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是2,2和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
6.权利要求1的化合物,其是聚[甲基丙烯酸蒽甲基亚胺乙基酯-(丙烯酸3-羟丙基酯)-甲基丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rc各自是甲基,Rb表示氢,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是2,3和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
7.权利要求1的化合物,其是聚[丙烯酸蒽甲基亚胺丙基酯-(丙烯酸2-羟乙基酯)-甲基丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rb各自是氢,Rc表示甲基,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是3,2和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
8.权利要求1的化合物,其是聚[丙烯酸蒽甲基亚胺丙基酯-(甲基丙烯酸2-羟乙基酯)-丙烯酸缩水甘油酯],其中Ra和Rc各自是氢,Rb表示甲基,Ra-Rd和R1-R9各自是氢,l,m和n各自是3,2和1,和x,y和z各自是0.5,0.3和0.2。
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