[发明专利]半导体器件及其制造方法

权利要求书

1.一种半导体器件，包括：

形成在绝缘表面上的遮蔽膜；

形成在绝缘表面上以覆盖遮蔽膜的平面化绝缘膜；以及

为了与平面化绝缘膜接触而形成的半导体膜，

其特征在于遮蔽膜与半导体层叠加，并且平面化绝缘膜夹在它们之间、以及

在半导体层形成前，通过CMP对平面化绝缘膜抛光。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于遮蔽膜的厚度是0.1μm到0.5μm。

3.根据权利要求1所述的器件，其特征在于遮蔽膜围绕其边缘呈锥形。

4.一种包括权利要求1的半导体器件的数码相机。

5.一种包括权利要求1的半导体器件的摄像机。

6.一种包括权利要求1的半导体器件的护目镜型显示器件。

7.一种包括权利要求1的半导体器件的音频系统。

8.一种包括权利要求1的半导体器件的笔记本个人计算机。

9.一种包括权利要求1的半导体器件的可移动信息终端。

10.一种包括权利要求1的半导体器件的DVD播放器。

11.一种半导体器件包括：

形成在绝缘表面的遮蔽膜；

形成在绝缘表面上以覆盖遮蔽膜的平面化绝缘膜；以及

包括有源层的薄膜晶体管，该晶体管与平面化绝缘膜接触，

其特征在于有源层具有沟道形成区，

遮蔽膜与整个沟道形成区叠加、并且平面化绝缘膜夹在它们之间；以及

在有源层形成前，通过CMP对平面化绝缘膜抛光。

12.根据权利要求11所述的器件，其特征在于遮蔽膜的厚度是0.1μm到0.5μm。

13.根据权利要求11所述的器件，其特征在于遮蔽膜围绕其边缘呈锥形。

14.一种包括权利要求11的半导体器件的数码相机。

15.一种包括权利要求11的半导体器件的摄像机。

16.一种包括权利要求11的半导体器件的护目镜型显示器件。

17.一种包括权利要求11的半导体器件的音频系统。

18.一种包括权利要求11的半导体器件的笔记本个人计算机。

19.一种包括权利要求11的半导体器件的可移动信息终端。

20.一种包括权利要求11的半导体器件的DVD播放器。

21.一种半导体器件包括：

形成在绝缘表面的低层电容布线；

形成在绝缘表面上以覆盖低层电容布线的平面化绝缘膜；以及

与平面化绝缘膜接触而形成的电容布线，

其特征在于低层电容布线与电容布线叠加、并且平面化绝缘膜夾在它们之间，以及

在电容布线形成前，通过CMP对平面化绝缘膜抛光。

22.根据权利要求21所述的器件，其特征在于低层电容布线的厚度是0.1μm到0.5μm。

23.根据权利要求21所述的器件，其特征在于低层电容布线围绕其边缘呈锥形。

24.根据权利要求21所述的器件，其特征在于平面化绝缘膜的厚度是0.5μm到1.5μm。

25.一种包括权利要求21的半导体器件的数码相机。

26.一种包括权利要求21的半导体器件的摄像机。

27.一种包括权利要求21的半导体器件的护目镜型显示器件。

28.一种包括权利要求21的半导体器件的音频系统。

29.一种包括权利要求21的半导体器件的笔记本个人计算机。

30.一种包括权利要求21的半导体器件的可移动信息终端。

31.一种包括权利要求21的半导体器件的DVD播放器。