[发明专利]激光加工装置及其加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，具有控制装置，该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号；

第1激光源，该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束；

第2激光源，该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束；

将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统，以及

保持装置，该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于上述聚光光学系统为沿同一光轴传送上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束，至少改变一个脉冲激光束的光轴，之后，将第1及第脉冲激光束聚光。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于上述控制装置具有第1控制模式和第2控制模式，对于上述第1控制模式，为了上述第1脉冲激光束的脉冲和上述第2脉冲激光束的脉冲交替到达被加工物的被加工位置上而发出上述第1及第2转机信号，对于上述第2控制模式，为了上述第2脉冲激光束的脉冲与上述第1脉冲激光束的脉冲至少部分重叠地到达被加工位置上而发出上述第1及第2转机信号。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于上述控制装置在上述第2控制模式时能够调节上述第1脉冲激光束的脉冲和上述第2脉冲激光束的脉冲重合比例。

5.一种激光加工方法，该方法具有以下步骤：

从第1激光源射出紫外线区波长的第1脉冲激光束的步骤，

与上述第1脉冲激光束同步地从第2激光源射出紫外线区波长的第2脉冲激光束的步骤，和

使上述第1及第2脉冲激光束照射到被照射物体的同一加工部位，在受照射的部位形成孔的步骤。

6.根据权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于在上述形成孔的步骤中，为了使上述第1的脉冲和上述第2脉冲激光束的脉冲交替到达被照射物上，而控制上述第1及第2脉冲激光束的同步状态。

7.根据权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于在上述形成孔的步骤中，为了使上述第1的脉冲和上述第2脉冲激光束的脉冲在被加工部位上至少部分重合，而控制上述第1及第2脉冲激光束的同步状态。

8.一种激光加工方法，该方法包括以下步骤：

准备被加工物的步骤，该被加工物包含第1层和第2层，其中的第1层是在通过第1能量紫外线脉冲激光束每1脉冲的能量的照射可形成孔，而第2层配置在第1层下方，在通过第1能量紫外线脉冲激光束每1脉冲的能量的照射其上不能形成孔，而以比上述第1能量高的第2能量紫外线脉冲激光束每1脉冲能量照射能形成孔；

使从第1激光源射出的具有紫外线区波长的第1脉冲激光束和从第2激光源射出的具璥波长的第2脉冲激光束在第1及第2脉冲激光束的脉冲交替照射第1层的时间条件下对上述第1层被加工部位照射，在该第1层上打第1孔，使其下方的第层局部露出的步骤；

使从第1激光源射出的具有紫外线区波长的第1脉冲激光束和从第2激光源射出的具有紫外线区波长的第2脉冲激光束在第1及第2脉冲激光束的脉冲至少部分重合的时间条件下对暴露于上述第1孔底的第2层照射，在该第2层上打第2孔的步骤。

9.一种激光加工装置，该装置具有：

控制装置，该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号；

第1激光源，该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有红外线或可见光区波长的第1脉冲激光束：

第2激光源，该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有红外线或可见光区波长的第2脉冲激光束；

沿同一光轴传递上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束且至少可改变其中之一脉冲激光束光轴的传递光学系统；

在上述传递光学系统中光轴一致的上述第1及第2脉冲激光束的、发生紫外线区高频波的非线性光学元件；

会聚上述高频波的聚光光学系统，以及

保持装置，该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的高频波照射的位置上。