[发明专利]半导体激光器老化筛选设备和筛选方法

说明书

技术领域：

本发明涉及半导体器件领域，尤其是一种半导体激光器大规模生产中批量老化筛选设备和筛选方法。

背景技术：

半导体光电器件产品在出厂之前，都要经过老化筛选工艺过程，以检测新产品的寿命指标，这要通过专用设备和机械夹具，按照一定的原理方法来完成。从总体上讲要能够实时测量并显示、记录被老化器件的有关性能参数，供人们对被老化器件的性能进行判断。目前，所使用的该类型设备存在以下不足之处：1、每台设备每次老化的器件数量有限(一般为几～十几只)，影响生产效率，不能满足大批量生产的要求；2、被老化器件参数的读取速度有限，数据采集、制图、制表的速度和智能化程度不高；3、对被老化器件的性能参数采集精度不高；4、无质量控制标准。基于目前设备的老化筛选方法存在着许多中间环节需要人手来操作，自动化程度不高。

技术方案：

本发明旨在提供一种高效率、高精度、高容量并具智能化判断能力的老化筛选设备，以及在此基础上的自动化程度高的老化筛选方法，以满足半导体激光器的大批量生产的需要，并达到以下目的：1、大幅度提高单台设备可老化器件的数量；2、提高各被测器件的自动功率控制电路的性能，提高数据采集的精度、速度、一致性和可靠性；3、具有通过计算机进行人工读取数据和制作图表的便意性。

上述目的可通过如下方式实现：一种半导体激光器老化筛选设备，包括：

一台计算机，用于控制单片机、读取单片机中暂存器的测量数据并形成每个被测半导体激光器的各性能参数曲线；

一个单片机，用于控制被测激光器的工作过程并采集该过程中被测激光器的数据；

多个自动功率控制电路，通过I/O扩展电路受控于所述单片机，以在负反馈回路中采用数字电位器的形式，用于自动调节激光器的工作状态，形成测量数据；

一个夹具组，包括固定被检测激光器的装置；

和一个温度控制老化装置。

基于所述半导体激光器老化筛选设备，同时提供了一种自动化程度高的半导体激光器老化筛选方法，包括以下步骤：

a.将多个激光器放置在老化筛选设备的机械夹具上；

b.使激光器工作于恒功、恒流状态，采用逐管扫描方式采集各状态下

  各激光器随时间变化的性能参数；

c.生成各激光器性能参数曲线；

d.给出各个激光器质量标记；

其特征在于：所述激光器各种工作状态的调节是通过单片机控制含有数字电位器的功率控制电路自动完成，其性能参数的采集是通过单片机分时序自动采集的，所述性能参数曲线由计算机定时采集单片机暂存器的数据并自动生成。

本发明所述的半导体激光器老化筛选设备在控制待测器件发光的功率控制电路中采用数字电位器，通过单片机对数字电位器的自动调控，并将结果输入单片机和计算机，实现了半导体激光器件的老化过程中参数自动记录、自动保存、恒功率偏差自动校准、产品品质自动识别等功能，每台设备每次可老化筛选的半导体激光器的数量大，从而提高了生产效率。由于采用了单片机控制技术和数字电位器，使得设备速度、精度和可靠性大大提高，智能化程度也大大提高。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明实施例的系统原理框图；

图2是本发明实施例的系统结构框图，其中向下的箭头表示连向底板2，该底板2的结构同图中的底板1；

图3是本发明实施例中单片机流程图；

图4是本发明实施例中功率控制电路原理图；

图5是本发明实施例中的夹具剖视图。

具体实施例

本实施例中，由图所示，该设备由以下几部分组成：1个单片机、256路功率控制电路、1台计算机、16个起固定及散热作用的夹具3和数套温度控制老化箱，在检测中，每个夹具3固定了16个待测激光器并放置于老化箱中。