[发明专利]半导体集成电路的测试装置及半导体集成电路的测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路的测试装置及半导体集成电路的测试方法，尤其是涉及包括将模拟信号转换为数字信号的A/D转换电路及将数字信号转换为模拟信号的D/A转换电路的半导体集成电路的测试装置及测试方法。

技术背景

这种半导体集成电路的测试装置，称作测试器。近年来，在作为由在功能上系统化了的多个电路组件构成的单片半导体集成电路(单片LSI)或将多个电路的各个芯片组合的混合集成电路(芯片组LSI)等而构成的系统LSI中，将高性能、高精度的数字电路和模拟电路组合后的混合型式(混合信号型)取得飞速的进展，在对这些半导体集成电路的测试装置方面也与这种混合型式对应地取得着进展，并且由测试装置的厂商提供着与混合信号型半导体集成电路对应的测试器。

但是，与这种混合信号型半导体集成电路对应的测试器，应具有与其相应的高性能规格，所以存在着使测试装置的价格提高的倾向，在这种情况下，也出现了又重新使用采用现有的低速、低精度的例如逻辑LSI等的测试器以避免测试器的价格增加的动向。

这种测试装置中的一个大的课题，是对将数字信号转换为模拟信号的D/A转换电路及将模拟信号转换为数字信号的A/D转换电路的测试。随着这些转换电路的精度的提高，必须解决的课题是如何降低对包括这些转换电路的半导体集成电路的测试装置的价格。

在测试器的一般测试环境中，在从测试器内部的测定装置到被测试半导体集成电路(称为DUT)的测试路径上，存在着多个DUT电路基板(DUT板)、电缆等测试器与DUT之间的连接件，而且该测试路径都较长，所以成为噪声发生、测定精度降低的原因，而且也很难同时测试多个DUT。此外，对低速测试器来说，由于其速度的限制，不能按实际使用速度进行测试，而且也担心在批量测试中测试时间将会增加。

在特开平1-316024号公报中，提出一种方案，在测试器中设置一个用于按照由对测试电路的D/A转换部的输入数据指定的地址存储转换数据的存储元件，将经D/A转换后的模拟信号输入到A/D转换器，并依次将该A/D转换器的输出存储在存储元件内，当对全部输入数据的转换结束时，将存储在存储元件内的转换数据依次送入测试器，并由测试器依次对输入数据和转换数据进行比较判定。

但是，由于必须由测试器供给对D/A转换部的输入数据、与存储转换数据的存储元件对应的地址、控制信号，进一步还必须将存储元件中的存储数据供给测试器，所以测试精度有可能因测试器与DUT之间的测试路径上的噪声而降低。此外，由于对测试器的插脚式电子线路的插脚数的占用，很难对多个DUT同时进行测定。进一步，在向测试器发送转换数据的通信上需花费很多时间，而且在全部测试结束后进行对测试结果的判定处理，所以也很难缩短测试时间。

发明内容

本发明是为解决上述课题而开发的，其目的是提供一种能以较低的成本实现高速度、高精度测定的半导体集成电路的测试装置及半导体集成电路的测试方法。

本发明的另一目的是，提供一种可以实现高速度、高精度的测定并能同时对多个半导体集成电路进行测试的半导体集成电路的测试装置及半导体集成电路的测试方法。

本发明的半导体集成电路的测试装置，备有构成为与包括将模拟信号转换为数字信号的A/D转换电路及将数字信号转换为模拟信号的D/A转换电路的被测试半导体集成电路进行信号交换的测试电路基板、配置在该测试电路基板附近并与其连接的测试辅助装置、及与上述测试辅助装置连接的测试机构，上述测试辅助装置，具有产生数字测试信号并将其供给上述被测试半导体集成电路的D/A转换电路的数据电路、将来自该数据电路的数字测试信号转换为模拟测试信号后供给上述被测试半导体集成电路的A/D转换电路的测试用D/A转换电路、将来自上述被测试半导体集成电路的D/A转换电路的模拟测试输出转换为数字测试输出的测试用A/D转换电路、存储来自上述被测试半导体集成电路的A/D转换电路的数字测试输出及上述测试用A/D转换电路的数字测试输出的测定数据存储器、及对存储在上述测定数据存储器内的上述各数字测试输出进行分析的分析部，根据来自上述测试机构的指示将上述数字测试信号及上述模拟测试信号供给被测试半导体集成电路，并将由上述分析部对存储在上述测定数据存储器内的各数字测试输出进行分析后的分析结果供给上述测试机构。

另外，本发明的半导体集成电路的测试装置，上述半导体集成电路，构成为用模制树脂覆盖半导体集成电路芯片并从该模制树脂引出多个端子的模制型IC，上述测试电路基板，具有用于安装该模制型IC的插座。